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接触式三维形貌仪手册

2011-12-27 17:32

浏览:759

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资料摘要:

常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合。 双模式操作(针尖扫描和样品台扫描),即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图。 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到150mm。 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。 针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围(最大至500μm)及亚纳米级垂直分辨率 (最小0.1nm ) 软件设置恒定微力接触。 简单的 2 步关键操作,友好的软件操作界面。
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