三维轮廓仪

NanoMap-D三维表面轮廓仪介绍

NanoMap-D (双模式) 三维轮廓仪使成像提高到一个新的水平。它所具有技术竞争力在于接触式和光学三维轮廓仪的完美结合。自动采样运动和一键测量功能使得 NanoMap-D 在三维图像世界里向前更进一步。 通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。NanoMap-D给使用者带来更高水平的的测量灵活性。该平台几乎可以测量任何样品（甚至包括反射率0%，非平面样品） 开放式平台架构采用花岗岩，光学平面参考平台。测试仪可以测试变长200mm的扫描区域（更大的扫描范围选择亦可实现）。白光干涉仪要配合使用防震平台和隔音罩 以确保绝对的消除噪音。

NanoMap-D三维表面轮廓仪简易操作手册

Vibration isolation pad locking screws. A piece of tape with foam secures the stylus tip on the measurement head. Remove it after the stage homing. (Figure 2) (a) (b) Figure 2. (a) Measurement head. (b) Tape over the stylus. 1.1.2 Electrical connections There are two cables connections to the main platform: a line power cable and a USB cable. Both connectors are at the back panel. (Figure 3) NanoMap 500LS 3D Profilometer User’s Manual aep Technology Page 2 The NanoMap 500LS system can take line voltages from 90VAC to 240VAC. The line power should come from a filtered power strip with a good ground connection. Make sure the power switch is at the “Off” position prior to plugging into the power outlet. The USB cable should be connected to the computer designated USB port. The port is not interchangeable without the modification of the configuration files. After the USB system cable is connected, connect the keyboard and mouse, as well as other USB devices if available. Figure 3. Line input and USB connection at the back panel. 1.1.3 Power on and off All the peripherals such as the computer, monitor, and printers should be turned on prior to the power up the main system. Once the entire system completes its physical installation and all the connections are secured, power up computer. After the computer finishes its boot up sequence, turn on the main system by using the power switch from the back panel.

表面三维轮廓仪/粗糙度仪/台阶仪

NanoMap-LS NanoMap-LS 拥有超大的扫描范围，仅需按下一个按钮即可产生高分辨率的三维和二维图像 。 NanoMap-LS扫描三维表面轮廓仪 特点  常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合 样品台扫描，保证样品精确而快速的扫描测试。使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。  针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察 。  软件设置恒定微力接触  简单的2步关键操作，友好的软件操作界面 应用 三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。 薄膜和厚膜的台阶高度测量 划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量 空间分析和表面纹理表征 平面度和曲率测量 二维薄膜应力测量 微电子表面分析和MEMS表征 表面质量和缺陷检测 环境要求 湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝 温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时） 电源要求：110/240V，50/60 Hz 技术规格 XY平台扫描，提供大尺度测量 带亮场和暗场的全时彩色CCD照相机 软件控制触针测量力，范围 0.1-100mg 触针针尖半径选件 2μm，5 μm，12.5 μm和25 μm，0.1-0.8μm可选 针尖扫描 (Piezo扫描器) 台阶高度重现性 0.8nm 测量高度精细范围 5μm 测量高度粗略范围 0.5mm XY扫描分辨率 0.1μm XY扫描定位重现性 0.2μm 扫描速度 10-50μm/sec 扫描范围 10-500μm 每次扫描数据点 100-1000数据点 样品台扫描 XY样品区域 100mm X 100mm, 150mm安装间隙 XY平台运动范围 100mm X 100mm（150mm X 150mm） XY平台定位重现性 5μm，2μm可选 最大扫描长度 50mm 扫描速度 0.1-5mm/sec Z平台范围 55mm 最大样品高度 50mm 手动旋转平台范围 360度 手动倾斜平台范围 ±2度 标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证） 100μm 系统 光学照相机视场范围 1.5 X 1.5mm 光学照明 软件控制暗场和亮场 电脑 Pentium IV, USB2.0联接 操作系统 Win XP 系统动力需求 90-240V，350W 空间尺寸 20’’ 宽X 22’’长 X 25’’高 重量 160lb 联系方式：aep Technology 电话：+86-010-68187909 传真：+86-010-68187909 手机：+86-15611184708，何先生 公司网址：www.aeptechnolongy.com.cn