向韩国电力研究院(KEPCO)供应制造钙钛矿太阳能电池 (PSC)用ALD设备

(株)NCD最近向韩国电力研究院(KEPCO)提供了钙钛矿太阳能电池(PSC)专用ALD装备(Lucida GS-P360). 本合约设备是作为高效率钙钛矿光伏的电子输送层(ETL)使用的SnO2沉积设备，可以同时在多数玻璃基板上进行ALD工程，是提高生产效率的量产设备.
通过ALD工艺沉积的SnO2可以实现纳米单位的均匀薄膜沉积，在可视光线范围内的光透过率高于TiO2，并具有较高的导电性和优秀的稳定性等优点.
钙钛矿太阳能电池可以用简单的工艺制作，效率性和经济性都非常突出，作为新一代太阳能电池备受关注.
韩国电力研究院(KEPCO)集中研究钙钛矿，在50x50mm2玻璃基板大小上达到19.8%的效率. 以商用化阶段为目标，在使用150x150mm2玻璃基板的太阳能电池模块上达到18%的效率，构建20千瓦级规模的门窗太阳能电池发电系统，正在进行实证开发，预计数年内有望正式实现商用化.
一般来说，ALD工艺可以进行低温工艺，具有优良的薄膜质量、工艺可靠性和扩张性，但工艺速度低会给生产成本带来很大负担. 但是在(株)NCD 供应的钙钛矿专用ALD设备，运用(株)NCD独创,高生产力ALD技术, 虽然使用了ALD 工艺难度高的高温前质Sn,可在180x180mm2玻璃基板上进行SnO2工艺，每小时可确保100片以上的优秀生产效率和经济性.
另外，此次提供的设备可以兼用大面积玻璃基板(360x360mm2)，可以制造大面积门窗钙钛矿太阳能电池.
特别是门窗太阳能电池使用了厚度在2毫米以上的厚玻璃基板，因此为了ALD工艺提高玻璃基板的温度需要很长时间，因此在提高生产效率上存在局限性. 但是(株)NCD开发的ALD设备(Lucida GS-P360)具有独立的加热系统(申请专利)，可以大幅减少厚玻璃基板的加热所需的时间，从而确保较高的生产效率.
(株)NCD 期待正式主导制造钙钛矿太阳能电池的高生产性ALD技术及设备市场，今后也将以ALD技术为领先者，努力成长为世界最高的ALD公司.