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CVD装置用气体混合系统
DA0060
为CVD装置提供混合气体的专用设备。
可以对复数以上的气体进行任何比例的混合供给。传送带设计，可很大程度上减少阀门操作带来的压力变化。
| 输气管 | 10条 |
| 管道接头 | 4VCR |
| 蒸发器 | 2个 (可控温) |
| 阀门控制 | 可使用专用软件控制（扩展组件） |
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