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单晶金基板制作装置
具备良好均热性的加热机构和可控蒸镀速率，可实现在云母基板上的单晶金膜的生长。
可混合制作设计，一次可进行复数以上的基板成膜。
| 基板加热 | 角形辐射加热机构 |
| 基板支撑方式 | 角形导轨方式 |
| 基板个数 |
10mm×10mm：21个 10mm×20mm：12个 |
| 基板屏蔽 | 手动式 |
| 蒸发源 | 耐加热式3源端口 |
| 到达真空度 | 10-6Pa级 |
| 膜厚监测 | 水晶振动方式 |
| 可扩展组件 | 防止剥离处理单元 |
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公司名称： 滨州创元设备机械制造有限公司（现北京创元）
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