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解决方案

蚀刻液中乙酸(冰醋酸)含量的测定 应用资料

应用领域

半导体

检测样品

集成电路

检测项目

乙酸
蚀刻液中乙酸(冰醋酸)含量的测定 应用资料 样品加入纯水后,用0.5mol/L氢氧化钠滴定溶液测定蚀刻剂中的乙酸(冰醋酸)含量。滴定上升到终点,即滴定曲线上的最大拐点。乙酸(冰醋酸)浓度由氢氧化钠的滴定体积计算。

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硝酸含量的测定 应用资料

应用领域

半导体

检测样品

集成电路

检测项目

硝酸
硝酸含量的测定 应用资料 称取一定量的试样,用氢氧化钠标准滴定溶液滴定,根据氢氧化钠标准滴定溶液的消耗量计算硝酸的含量。

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铝蚀刻液混酸(硝酸、磷酸、醋酸)的测定 应用资料

应用领域

半导体

检测样品

集成电路

检测项目

化学性质
铝蚀刻液混酸(硝酸、磷酸、醋酸)的测定 应用资料 在半导体制程上,铝蚀刻液主要成分是硝酸、磷酸、醋酸和水,其中硝酸、磷酸、醋酸和水的组成比例会影响到蚀刻的速率,故需要对这种混酸溶液的成分进行分析。在本应用说明中,描述了通过中和滴定法测定非水溶剂中的硝酸、磷酸和醋酸的浓度。每种酸在水中的强度不能单独检测,但是在有机溶液中,它可以单独检测到。采用该滴定法,同时检测到三个终点。

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