核心参数
仪器种类: 其他
产地类别: 进口
仪器类型: 材料型
定位检测噪声: X-Y≤0.15nm RMS,Z=35pm RMS, 典型成像带宽(达到625Hz)
样品尺寸: 直径≤15mm, 厚度≤5mm
样品台移动范围: 直径≤15mm, 厚度≤5mm
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