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当前位置: 沈阳科晶 > 解决方案 > 大面积金刚石自支撑膜机械抛光新技术4

大面积金刚石自支撑膜机械抛光新技术4

2008/10/10 15:04

阅读:726

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应用领域:
发布时间:
2008/10/10
检测样品:
检测项目:
浏览次数:
726
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4
参考标准:

方案摘要:

4. 结 论 长期以来本实验室在进行金刚石自支撑膜后续加工的领域里碰到的难题是磨削速率太 低,安全性也低,容易损坏样品,从而大大增加了研究成本,实际应用方面也受到阻碍。 这次选用新的设备使用最简单的方法,磨削速率有了很大的提高。又加上金刚石粉可以回 收再利用,从而降低了后续加工的成本。通过本次新工艺的探索,得出以下结论: 1) 带槽盘的粗抛效果好,磨削速率大,平面盘的细抛效果好,有利于表面粗糙度的 降低。在金刚石自支撑膜研磨初期,使用带槽盘进行粗磨,到达一定粗糙度之后 选用平面盘进行细磨。 2) 不同的金刚石粉颗粒尺寸都对应有一个磨削效果最好的转盘转速,一般是使得金刚石粉能够在研磨带上均匀分布的转速范围,充分利用金刚石粉的磨削能力。如本试验的200/230 粒度对应的35r/min,140/170 粒度对应的20~25r/min,100/120 粒度对应的20~25r/min。 本次试验所进行的磨抛工序是粗抛和细抛,精抛工艺需后续工作进一步探索。同时,本试验过程中发现,新的设备和工艺虽然能提高磨削速率,降低表面粗糙度,但是不能改变金刚石自支撑膜的初始平面度,只会在原有平面度的基础上进行抛光处理。然而平面度 对金刚石自支撑膜的应用也有着较大的影响,所以有待进一步探索研究金刚石自支撑膜的平整技术。

产品配置单:

前处理设备

UNIPOL-1502自动精密研磨抛光机

型号: UNIPOL-1502

产地: 辽宁

品牌: 沈阳科晶

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3.3 不同金刚石粉颗粒尺寸对磨削速率的影响 通过之前的研究结果可以知道,在同一个转速对不同的金刚石粉颗粒的磨削能力进行 评价是不合适的,因为每一种颗粒都会对应一个合适的转速。所以选用颗粒为200/230 和 140/170 的金刚石粉在转速分别为30r/min、35 r/min、40 r/min 时进行研磨2 小时。选用颗 粒为140/170 和100/120 的金刚石粉在转速为20 r/min、30 r/min 时进行研磨2 小时,不同 金刚石粉的颗粒尺寸对磨削量的对比图如图3 所示。 0 5 10 15 20 25 30r/min 35r/min 40r/min 200/230 140/170 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20r/min 30r/min 140/170 100/120 图3 不同金刚石粉颗粒尺寸对磨削速率的影响 Fig.3 The effect of the different grain sides of the diamond powder on the polishing speed 从图3 可以看出,不同的金刚石粉颗粒尺寸对应有一个合适的转速,在这个转速下 的最大磨削速率才能体现出金刚石粉的磨削能力。根据之前的数据以及试验现象可以估计 200/230 的颗粒在35r/min 时有最大磨削速率,140/170 的颗粒在25~30r/min 会产生一个最 大的磨削量;100/120 的颗粒将在20~25r/min 之间产生一个最大的磨削量,因为试验数据 显示在10r/min 时磨削量下降且金刚石粉易内聚,20r/min 时金刚石粉的分布比较均匀。根 据文献[13]报导,金刚石粉对金刚石自支撑膜产生的磨削作用会有一个极值,也就是说同粒 度的金刚石粉只能达到一定的磨削量,达到之后时间增长或者转速增大,都不能改善磨削 效果。而在本试验中,不同的金刚石粉颗粒的最大磨削速率都在12μm/h 左右,所以不同 的金刚石粉颗粒需要找到其本身最好的匹配转速,达到之后的磨削能力相差不大。

2008/10/10

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