OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉）

OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉是一款快速蒸发管式炉，专门用于PVD或CSS法制作薄膜；其炉管外径为11″，炉管内载样盘可放置3″ 的圆形或2″×2″的方形基片；加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体顶端和底部，升温速率高达20℃/s ；温控系统采用PID30段程序化控制，控温精度为±1℃，并且仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出。

主要特点

1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上。

2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Φ76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀。

3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。

4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10^-2torr，通过分子泵真空度可达10^-5torr。

5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。

6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以精确测量腔内真空度。

技术参数

1、电源：单相AC208-240V（需20A的空气开关）

2、真空腔体：高纯石英管，外径280mm，内径275mm，高229mm

3、加热元件：两组IR红外灯管，额定功率800W，总功率1600W

4、热电偶：S型热电偶2个，分别安装于上下法兰上

5、工作温度：两个加热区域单独工作的最高温度≤650℃，两加热区域最大温差≤350℃

6、加热速率：>8℃/s

7、冷却速率：>10℃/s（600℃-100℃）

8、真空法兰：316不锈钢制作，配有1个KF-25接口、2个1/4″软管接头

9、真空计：数字式真空显示计

可选配件

1、PC控温软件

2、两路混气系统

3、多路浮子混气系统

4、多路质子混气系统

5、真空泵

6、水冷机