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450型电子束蒸发镀膜系统

品牌: 沈阳科晶
产地: 辽宁
型号: 450型电子束蒸发镀膜系统
报价: 面议
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产品介绍

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产品简介:450型电子束蒸发镀膜系统用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,广泛应用于大专院校、科研机构的科研及小批量生产。

产品型号

450型电子束蒸发镀膜系统

技术参数

系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。

  技术指标:

  极限真空度:≤6.7×10 Pa

  恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min

  系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;

  真空室:真空室500x500 x600mm采用U型箱体前开门,后置抽气系统e型电子枪:阳极电压:6kv、8kv(1套)

  坩埚:水冷式坩埚,四穴设计,每个容量11ml

  功率:0-6KW可调

  电阻蒸发源(可选)

  电压:5、10V

  功率:电流300A,输出功率3Kw1套,可切换水冷电

  极3根,组成2个蒸发舟

  基片尺寸:可放置4″基片

  样品台:基片可连续回转,转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离300-350mm加热温度 ≤800°C±1°C,可调手动控制样品挡板组件1套

  气路系统:质量流量控制器1路

  石英晶振膜厚控制仪:监测膜厚显示范围:0-99μ9999?


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工商信息

企业名称

沈阳科晶自动化设备有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

210132000055868

成立日期

2003-06-11

注册资本

150

经营范围

切割、研磨、抛光、机床自动化设备及耗材生产与销售;经营本企业自产产品及技术的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅料及技术的进出口业务(但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。)

联系方式
沈阳科晶自动化设备有限公司为您提供沈阳科晶450型电子束蒸发镀膜系统,沈阳科晶450型电子束蒸发镀膜系统产地为辽宁,属于其它常用设备,除了450型电子束蒸发镀膜系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多其它常用设备,沈阳科晶客服电话400-860-5168转1374,售前、售后均可联系。
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