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1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉

品牌: 沈阳科晶
产地: 辽宁
型号: GSL-1100X-8.5-SR -III
报价: 面议
产品介绍

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产品简介:1100℃三温区带滑轨8.5管式炉GSL-1100X-8.5-SR-III是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。

 

控温仪表操作视频

 

产品型号

1100℃三温区带滑轨8.5管式炉GSL-1100X-8.5-SR  -III

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:需要选配冷水机

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)

4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高设备

  的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。

2、滑轨式法兰结构,方便取放样品。

3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

4、三个加热区域实现更长的温度区和一个特定的温度梯度。

5、采用三个PID控制器,通过可控硅来进行温度控制,可以设置30段升降温程序。

6、右端法兰装载石英管堵,用以阻止热辐射;左端法兰上设有4片磨砂石英挡片,用于阻止热辐射。

7、已通过CE认证。

技术参数

1、电源:单相220V  8KW

2、石英管:外径?216mm,内径?208mm,长1300mm

3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域:长900mm

5、温区:3个,各300mm

6、恒温区域:500mm(三个温区设置一样的温度)

7、工作温度:≤1100℃,连续工作400-1000

8、升降温速率:≤10/min

9、控温精度:±1

10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

11、热偶检测口:1

12、真空接口:KF-25

13、进气接口:5路,精密不锈钢针阀密封

14、炉体:1000mm×700mm×1060mm

15、滑轨:600mm

产品规格

尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg

标准配件

1

石英管堵

1

2

KF-25真空挡板阀

1

3

KF-40不锈钢波纹管

1

可选配件

1、软件接口模块和PC

2K型热电偶?6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)

3冷水机


工商信息

企业名称

沈阳科晶自动化设备有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

210132000055868

成立日期

2003-06-11

注册资本

150

经营范围

切割、研磨、抛光、机床自动化设备及耗材生产与销售;经营本企业自产产品及技术的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅料及技术的进出口业务(但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。)

联系方式
沈阳科晶自动化设备有限公司为您提供沈阳科晶1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉GSL-1100X-8.5-SR -III,沈阳科晶GSL-1100X-8.5-SR -III产地为辽宁,属于其它常用设备,除了1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多其它常用设备,沈阳科晶客服电话400-860-5168转1374,售前、售后均可联系。
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