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产品简介：SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。
高精度椭偏测量解决方案；超高精度、快速无损测量；支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制；丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。
广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。
产品型号 | SE-VM光谱椭偏仪 | ||
主要特点 | 1、采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm) 2、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集 3、支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定制 4、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料 | ||
技术参数 | 1、自动化程度：手动变角 2、应用定位：通用型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱 4、分析光谱380-1000nm(可扩至210-1650nm) 5、单次测量时间：0.5-5s 6、重复性測量精度：0.01nm 7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200μm 8、入射角调节方式：手动变角 9、入射角范围：55-75°(5°步进),90° 10、找焦方式：手动找焦 11、Mapping行程：不支持 12、支持样件尺寸：最大至180mm | ||
可选配件 | 1 | 温控台 | |
2 | Mapping扩展模块 | ||
3 | 真空泵 | ||
4 | 透射吸附组件 | ||
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企业名称
沈阳科晶自动化设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
210132000055868
成立日期
2003-06-11
注册资本
150
经营范围
切割、研磨、抛光、机床自动化设备及耗材生产与销售;经营本企业自产产品及技术的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅料及技术的进出口业务(但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。)
沈阳科晶自动化设备有限公司
公司地址
沈阳市浑南区浑南中路35-27号国际产业园 沈阳科晶自动化设备有限公司
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