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GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪

品牌: 沈阳科晶
产地: 辽宁
型号: GSL-1100X-SPC- 12H
报价: 面议
产品介绍

产品简介:GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜(如金、铂、铟、银等)而设计,最大放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300?,特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。

 

产品型号

    GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

    1、配有2L/s双旋片机械泵,出气口装有立式油雾过滤器,过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵的损耗,保护环 境和人体健康。

    2、已经过CE认证。

技术参数

    1、输入电源:208V-240V  50Hz/60Hz   <3000W

    2、石英腔体:?100mm×130mm  

    3、样品台:?60mm,高度可调节,可加热到600

    4、温控器:30段可编程温度控制器,控温精度±1

    5、升温速率:15/min(推荐)

    6、靶材:纯度为4N的金靶,?57mm×0.12mm

    7、进气口:装有不锈钢针阀,可通入氩气,能实现更好的等离子涂层

产品规格

 尺寸:480mm×320mm×150mm;重量:20kg

标准配件

   1、金靶

   2、真空泵

   3、不锈钢波纹管

   4、快速卸装卡箍

可选配件

   AuPtAg


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工商信息

企业名称

沈阳科晶自动化设备有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

210132000055868

成立日期

2003-06-11

注册资本

150

经营范围

切割、研磨、抛光、机床自动化设备及耗材生产与销售;经营本企业自产产品及技术的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅料及技术的进出口业务(但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。)

联系方式
沈阳科晶自动化设备有限公司为您提供沈阳科晶GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪,沈阳科晶GSL-1100X-SPC- 12H产地为辽宁,属于其它常用设备,除了GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪、GSL1100X-PJF等离子表面处理仪、VTC-16-D小型直流磁控等离子溅射仪,沈阳科晶客服电话400-860-5168转1374,售前、售后均可联系。
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