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产品简介:GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜(如金、铂、铟、银等)而设计,最大放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300?,特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。
产品型号
GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶
4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
5、通风装置:需要
主要特点
1、配有2L/s双旋片机械泵,出气口装有立式油雾过滤器,过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵的损耗,保护环 境和人体健康。
2、已经过CE认证。
技术参数
1、输入电源:208V-240V 50Hz/60Hz <3000W
2、石英腔体:?100mm×130mm
3、样品台:?60mm,高度可调节,可加热到600℃
4、温控器:30段可编程温度控制器,控温精度±1℃
5、升温速率:15℃/min(推荐)
6、靶材:纯度为4N的金靶,?57mm×0.12mm
7、进气口:装有不锈钢针阀,可通入氩气,能实现更好的等离子涂层
产品规格
尺寸:480mm×320mm×150mm;重量:20kg
标准配件
1、金靶
2、真空泵
3、不锈钢波纹管
4、快速卸装卡箍
可选配件
Au、Pt、Ag靶
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企业名称
沈阳科晶自动化设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
210132000055868
成立日期
2003-06-11
注册资本
150
经营范围
切割、研磨、抛光、机床自动化设备及耗材生产与销售;经营本企业自产产品及技术的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅料及技术的进出口业务(但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。)
公司地址
沈阳市浑南区浑南中路35-27号国际产业园 沈阳科晶自动化设备有限公司
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公司名称: 沈阳科晶自动化设备有限公司
公司地址: 沈阳市浑南区浑南中路35-27号国际产业园 沈阳科晶自动化设备有限公司 联系人: 吴女士 邮编: 110171 联系电话: 400-860-5168转1374
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