LT600全自动影像测量仪

测量行程(XYZ)（mm）

500X600X200

外型尺寸（mm）

1250X1550X1768

设备重量 (kg)

1250

载物台承重（kg）

30

影像仪放大倍率

40-262X

XY轴精度 (um)

2.0+L/200（L表示测量长度，以mm为单位）

Z轴精度 (um)

5.0+L/200（L表示测量长度，以mm为单位）

XY轴重复精度(um)

3.0

机台运行速度

XY轴400mm/S (Max)    Z轴100mm/S (Max)

温湿度

温度20±2℃，温度变化≦2℃/hr，湿度30～80%

振动

<0.002g，<15Hz

电源

AC220V/50HZ

1

设备主体

机械结构

大理石主体结构，膨胀系数小，物理特性稳定

2

载物台

光学玻璃

3

光栅尺

0.5um分辨率

4

导轨

台湾上银 P级精密线性导轨

5

丝杆

台湾TBI 研磨级滚珠丝杆

6

光学系统

相机

1/2“ 130万像素数字相机

7

镜头

全自动高精度电动变倍镜头，光学放大倍率0.7-4.5X

8

放大倍率

40-262X

9

视野范围

0.7X (9.1*6.9) mm ~ 4.5X (1.4*1.1) mm

10

表光源

表面光源：4环8区LED冷光源，255级独立调节

11

轮廓光源

轮廓光源：LED平行底光，255级独立调节

12

电控系统

控制器

TTE-420

13

电机

XY轴直线电机，Z轴松下电机

14

操作盒

TTE-A型操控盒

15

软件系统

测量软件

TTE-CNC（标准版）

16

电脑系统

电脑主机

I5-10代处理器，16G内存，240G SDD，24”显示器，键鼠

17

附件

校正块

光刻标准元素校正块

18

出厂合格证

TTE出厂合格证

19

出厂检验报告

TTE出厂检验报告

20

硬件说明书

硬件说明书、软件说明书

21

可选配件

激光系统

点激光、点光谱测头

22

探针系统

Renishaw MCP探针、PH+TP20探针

23

Z轴加高

Z轴行程加高至300mm