HE300复合式全自动影像测量仪

测量行程(XYZ)（mm）

300X300X200

外型尺寸（mm）

916X1130X1800

设备重量(kg)

550

载物台承重（kg）

25

影像仪放大倍率

40~328X（24“显示器）

XY轴精度 (um)

（1.8+L/200）um（L表示测量长度，以mm为单位）

Z轴精度 (um)

（3.0+L/200）um（L表示测量长度，以mm为单位）

XY轴重复精度(um)

2.0

机台运行速度

XY轴300mm/S (Max)    Z轴100mm/S (Max)

温湿度

温度20±2℃，温度变化≦2℃/hr，湿度30～80%

振动

<0.002g，<15Hz

电源

AC200~240V，50/60Hz，700W

1

设备主体

机械结构

大理石主体结构，膨胀系数小，物理特性稳定

2

载物台

大理石材质，物理特性稳定

3

光栅尺

0.1um分辨率 计量级高精度光栅尺

4

导轨

日本THK P级直线导轨

5

丝杆

台湾TBI C5级滚珠丝杆

6

光学系统

相机

1/1.8”  200万像素数字相机

7

镜头

0.6~5.0X 自动变倍+同轴光镜头

8

放大倍率

40~328X（24“显示器）

9

视野范围

0.6X (1.5*1.1) mm ~ 5.0X (12.3*9.3) mm

10

表面光

4环8区LED光源，256级亮度可调

11

底部光

LED光源，256级亮度可调

12

电控系统

控制器

TTE-420

13

电机

日本“松下”交流伺服电机，全闭环控制

14

操作盒

霍尔型专用操控盒

15

软件系统

测量软件

TTE-CNC（标准版）

16

电脑系统

电脑主机

联想品牌电脑

17

附件

校正块

光刻标准元素校正块

18

出厂合格证

TTE出厂合格证

19

出厂检验报告

TTE出厂检验报告

20

硬件说明书

硬件说明书、软件说明书

21

可选配件

探针系统

Renishaw MCP探针、PH+TP20探针、探针更换架

22

激光系统

点激光、点光谱测头、线激光测头、线光谱测头

23

其它镜头

自动变倍镜头、导航镜头

24

Z轴行程

Z轴加高

Z轴行程加高至300mm