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北京理化赛思:应用织构极图研究ZnO外延膜的晶体取向特征

2017/09/29 17:02

阅读:447

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应用领域:
其他
发布时间:
2017/09/29
检测样品:
其他
检测项目:
晶体取向特征
浏览次数:
447
下载次数:
参考标准:
--

方案摘要:

用MOCVD法在蓝宝石衬底上生长ZnO外延膜。用理学D/max 2550转靶衍射仪测量ZnO外延膜织构。观察到试样存在两种晶体取向关系:ZnO[11-20]//Al2O3[10-10]及ZnO[10-10]//Al2O3[10-10]。计算得到晶格取向极点分布平均半高宽为12.26O,且前一种取向晶体的数量是后者的13倍。探讨了两种取向的热力学稳定性。给出了外延膜取向特性的逐层分析结果。

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型号: Ultima IV系列

产地: 日本

品牌: 理学

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