Hakuto IBE离子刻蚀机运用于 PDMS 软刻蚀用母模板研究

报告摘要： 本报告旨在探讨 Hakuto 7.5IBE 离子刻蚀机在制备软刻蚀母模板方面的应用。通过使用伯东公司代理的 KRI 考夫曼公司的 KDC 75 离子源，该设备在操作简便性和制备周期上展现出显著优势，为软刻蚀母模板的高效制备提供了有效解决方案。

关键词： Hakuto 7.5IBE 离子刻蚀机，KDC 75 离子源，软刻蚀母模板，PDMS，高效制备

1. 引言 随着微纳制造技术的发展，软刻蚀技术因其在微流体、组织工程和生物医学等领域的广泛应用而受到重视。PDMS（聚二甲基硅氧烷）作为一种常用的软刻蚀材料，其母模板的制备质量直接影响到最终产品的性能。Hakuto 7.5IBE 离子刻蚀机以其高效、简便的操作特点，为软刻蚀母模板的制备提供了新的选择。

2. Hakuto 7.5IBE 离子刻蚀机概述 Hakuto 7.5IBE 离子刻蚀机是伯东公司代理的一款高性能离子刻蚀设备，其核心构件离子源为 KRI 考夫曼公司的 KDC 75。该离子源由美国考夫曼博士创立，以其卓越的性能和稳定性在行业内享有盛誉。

3. 应用背景与研究意义 软刻蚀技术在微纳制造领域具有重要应用，而 PDMS 作为软刻蚀材料的代表，其母模板的制备工艺直接影响到微结构的精度和一致性。Hakuto 7.5IBE 离子刻蚀机的应用，有望提高母模板的制备效率和质量，进而推动相关领域的技术进步。

4. 技术原理与操作流程 Hakuto 7.5IBE 离子刻蚀机采用先进的离子束技术，通过精确控制离子束的能量和方向，实现对材料表面的精细刻蚀。操作流程包括模板装载、参数设置、刻蚀过程监控和后处理等步骤，具有操作简便、制备周期短的特点。

案例分析:

西南某高校在 PDMS 软刻蚀用母模板研究中有采用到伯东 Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE .

Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 技术规格:

该 Hakuto 离子刻蚀机 7.5IBE 的核心构件离子源是配伯东公司代理美国考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的考夫曼离子源 KDC 75

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 伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC75 技术参数：

伯东离子蚀刻机应用领域

上海伯东是德国 Pfeiffer  真空设备, 美国  KRI 考夫曼离子源, 美国Gel-pak 芯片包装盒, 美国 inTEST 高低温冲击测试机， 日本 NS 离子蚀刻机, 比利时 Stratasys 3D 打印机, 比利时原装进口 Europlasma 等离子表面处理机 和美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

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