上海伯东普发涡轮分子泵组脉冲激光沉积系统应用
2015-01-09 11:29
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资料摘要:
脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition, PLD),是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上, 得到沉淀或者薄膜的一种手段. PLD 系统由多个真空腔体组成,整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质,对环境的清洁度要求较高,必须配备无油干泵和分子泵抽真空。由于各个辅助腔体体积较小, 因此特别适合使用 pfeiffer Hicube 系列分子泵组. 伯东公司销售维修的 Pfeiffer 分子泵组因其结构紧凑体积小,清洁无油(前级泵配备干泵)、抽速快、极限真空度高达10-11mbar等优点一经上市好评如潮。
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吡啶红外吸附测试主要目的是测量样品表面酸的类型(L、B酸)。吡啶红外测试首先要在高温真空条件下预处理样品,对样品进行抽真空处理,然后吸附,脱附,真空度至少要<10-3Pa,才能做真空加热原位处理。整套设备对真空泵的性能要求较高。