FEI公司发布世界最先进的分辨率小于0.7埃的电子显微镜

--- 新型的Titan(TM)(扫描)透射电子显微镜具有小于0.7埃的分辨率, 超越了以往所有商用透射电镜系统的世界记录


2005年4月18日, FEI公司发布了其新型的、专门为矫正电镜平台设计的扫描/透射电子显微镜(S/TEM) “Titan(TM) 80-300”。这一新的(扫描)透射电镜系统是世界上最先进的商用电镜, 分辨率达到小于0.7埃, 可在原子尺度进行成像。Titan系统的发布仅仅在FEI公司成为全球第一家亚埃分辨率商用电镜开发和制造厂家的一年之后。一年前, FEI公司在其市场领先的Tecnai(TM)电镜上使用单色器和像差矫正器达到小于1埃的分辨率。


迄今为止, 电子显微镜上使用的像差矫正技术只作为(扫描)透射电镜系统的一种附件, 电镜系统本身并没有真正地为这种先进的技术进行优化。因此, 将这种矫正器集成于电镜系统中以突破更高的分辨率极限并获得好的使用性能遭遇到巨大的困难。


全新的Titan(TM) 80-300设计为专门的、非常方便升级的像差矫正电镜系统, 将使得矫正器和单色器技术进入主流的纳米技术研究和工业市场。Titan(扫描)透射电镜系统达到无与伦比的整体稳定性, 分辨率突破1埃大限。位于荷兰的FEI公司"纳米港"(FEI公司电镜应用实验室)获得的结果表明, 在没有附加的像差矫正器的情况下, Titan透射电镜的信息极限小于0.7埃, 扫描透射分辨率小于1.0埃。这个结果以前从未在商用电镜系统上得到过。为了获得更高的分辨率, 可以增加矫正器升级单元, 这时可以将点分辨率延伸至信息极限, 从而准确的解释原子结构。


Titan 80-300已经经过几个同FEI公司签署过保密协议的领先的研究人员和客户的严格评测。这一系统将在8月1-4日夏威夷"2005显微学和显微分析会议"上正式发布, 之后将可对外进行演示。


Titan的可升级设计使得不仅仅是那些大型纳米技术和国家研究中心能够购买专门的像差矫正透射电镜技术, 它同时向大学和公司敞开大门, 他们可以通过阶段性的资金投入立足于未来。FEI公司已经得到了一些Titan(扫描)透射电镜的预订单, 包括从基本的Titan 80-300系统到安装有两个像差矫正器和一个单色器的Titan 80-300系统。FEI公司获得殊荣并打破1埃分辨率记录的Tecnai G2系列透射电子显微镜将继续销售, 主要面向不需要像差矫正分辨率的用户。针对此成熟平台的新发展和产品也将在"2005显微学和显微分析会议"上进行介绍。


"Titan 80-300是纳米技术时代的一个重要平台。它为我们的客户提供了进行持续创新和商品化的坚实基础。FEI在超高分辨率透射电镜上的继续进步, 加上我们领先市场的聚焦离子束(FIB)技术, 为那些日益致力于纳米尺度发现和产品商业化的研究者、开发者和制造商提供了所必需的强大的工具," FEI公司总裁兼首席执行官Vahe Sarkissian说。"作为世界上提供纳米技术工具的领导者, FEI将继续投资于开发这些关键技术和市场平台"。


"对这一先进技术最初的市场反应非常强劲," FEI公司(扫描)透射电镜产品总经理Geoge Scholes说。"为了拓宽这一技术的商品化水平, 我们设计了具有高水平升级性能的基本系统, 客户可以在未来、在电镜现场增加一个像差矫正器。这将使得我们的客户能够得到他们今天需要的分辨率和功能, 同时知道他们可以扩展这个系统的分辨率极限以适应其需求的变化。"


Titan(TM)(扫描)透射电镜系统前期的订单来自于欧洲和北美的各个市场领域, 包括先进材料、能源、半导体, 以及先进的纳米技术研究中心。FEI相信Titan也将是FEI公司UltraView(TM)样品管理工具的强大补充, 让纳米微电子客户在亚埃分辨率下快速地从晶片到原子(获得信息)。


Titan的发布只是FEI公司作为电镜技术领导者及其加速分辨率革命的能力的一次展示。2004年11月, FEI公司宣布了已经被美国能源部TEAM计划选定为合作研发伙伴, 这一计划由美国几家区域性的实验室联合组成, 其目标是建造世界上最高分辨率的扫描/透射电子显微镜。这个耗资几百万美元的电镜计划将建造一台新型电子显微镜, 这台能在前所未有的0.5 埃(大约是碳原子尺寸的三分之一)分辨率下直接观察和分析单一纳米结构的显微镜, 必将创造新的、卓越的科学良机。




关于FEI公司：
FEI 公司的纳米技术工具，以聚焦离子束和电子束技术为特色，提供最高分辨率小于1 埃的3D 特征描述、分析及修改功能。公司在北美和欧洲拥有研究开发中心，在全球四十多个国家经营销售和提供维修服务。FEI 公司将纳米尺度呈献给研究人员和生产厂商，协助将本世纪一些最杰出的理念变成现实。更多的信息可在FEI 公司网页上找到：http://www.feicompany.com


特别声明: 此新闻发布包含有前瞻性陈述，这些前瞻性陈述包括对预期产品功能和高级研制项目的论述。影响到这些超前性陈述的可能因素包括, 但并不局限于: FEI 公司、供应商或项目伙伴在实现项目预期计划上的技术能力局限性; 项目更改或取消; 执行中产生的延迟因素或与预期结果相异的结论; 意料之外的技术挑战; 主要供应商或项目伙伴破产。欲了解这些或其它有可能造成与预期目标不符的因素，请参阅10-K 和10-Q 表格，以及美国证卷交易委员会的文件。FEI 公司将不予进一步陈述。


中文译注:
(1) 任何中文版疑义, 以英文版为准。英文版见FEI公司网站 www.feicompany.com
(2) 1埃等于0.1纳米。1纳米等于10E-9米。