日前在美国芝加哥市举行的“2006显微镜及显微分析(M&M)会议”上,FEI公司发布了该公司最新一代Helios NanoLab 场发射扫描(FESEM)/聚焦离子束(FIB)“双束”显微镜。
Helios NanoLab是FEI公司新一代的“双束”平台,该产品将超高分辨率(亚纳米级)扫描电子系统、FEI公司广受称赞的Sidewinder聚焦离子束系统和创新的气体化学系统完美地结合在一起,从而为用户提供了一款更为出色的纳米工作平台。
详细新闻内容请参考: http://investor.fei.com/phoenix.zhtml?c=60978&p=irol-newsArticle_print&ID=889507&highlight=
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