2016/09/21 14:57
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产品配置单:
HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪
型号: UVISEL
产地: 法国
品牌: HORIBA
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方案详情:
The deposition conditions have generated inhomogeneous porous layers that have been observed by the UVISEL Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer. Moreover, the spectroscopic measurements allow determination of the small discrepancies between the optical constants of a Y2O3 film grown at bare substrate and the one grown on a ZrO2 film.
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