2023/05/04 13:30
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产品配置单:
等离子增强原子层沉积系统
型号: PEALD E200SP
产地: 广东
品牌: 原速科技
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方案详情:
“碳达峰”和“碳中和”一直都是能源领域的热点话题,作为助力“双碳”战略的生力军,光伏产业具有举足轻重的地位。目前光伏的主力是硅太阳能电池,它们具有效率高、稳定性好、产业链完备、使用寿命长的优势。然而,晶硅电池的转换效率到达瓶颈,且从硅料到组件至少经过4 道工序,单位制程需要3 天以上,同时还需要大量人力、运输成本等。为了让太阳能的利用更加便捷、高效且廉价,科学界和工业界正在研制新型太阳能电池;钙钛矿太阳能电池就是备受关注的后起之秀,钙钛矿叠层效率极限可达50%,而钙钛矿组件在单一工厂完成生产,原材料经过加工后直接成组件,没有传统的“电池片”工序,大大缩短制程耗时。但是,如何制备大面积且能保持较高效率的钙钛矿太阳能电池,依然是难题,也成了制约其产业化应用的瓶颈。
原速ALD在钙钛矿电子传输层、空穴传输层、钝化层、封装阻水层等领域已取得了突破性进展,获得了业界的认可。为了更高效地服务于世界光伏产业高地,原速也在上海建立了技术研发中心。截止目前,公司已形成服务于钙钛矿电池研发、中试、100MW、 GW级量产的产线ALD技术解决方案。
应用:
1、ALD-SnO2 应用于钙钛矿电池电子传输层
• ALD 相比于传统沉积技术,在制备超薄膜时具有更优异的均匀性和保形性,以及缺陷更少的优点
2、ALD-NiO 应用于钙钛矿电池空穴传输层
• ALD 可用于制备性能优异的超薄(<10 nm)NiO 空穴传输层
3、ALD 应用于钙钛矿电池钝化层
• ALD 超薄膜可以应用于界面处,通过和悬挂键反应的方式减少表面缺陷,或者排斥载流子,达到钝化的效果
4、ALD 应用于钙钛矿电池封装
• 致密的 ALD 膜可达到有效的阻水氧的效果
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