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产品信息Lumina AT1光学表面缺陷分析仪,创新的激光扫描设备能检测薄到0.5nm的 薄膜缺陷。可对玻漓、半导体及光电子材料进行表面检测。既能够检测SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料,又能对Si、砷化镓、磷化铟等不透阴基板进行检测,研发及生产过程中品质管理及良率改善的有力工具。产品优势:1、实用:可用于易碎和超薄的样品;2、通用:扫描任何形状平面样品≤300mm*300mm;3、快速:3分钟全表面扫描150mm芯片;4、灵活:可用于透明(玻璃)、半导体和金属基底;5、灵敏:半导体愚亨70nm颗粒灵敏度(PSL),坡璃-150nm颗粒灵敏度(PSL);6、方便:放置样品,按扫描键;AT系列共有4种型号:AT1、ATI-Auto、AT2、AT2-EFEM,这4种型号适用场景如下:AT1:高性价比,适用于尺寸较小样品;AT1-Auto:AT1自动款,适用于批量检测;AT2:高速率检测,适用于尺寸较大样品;AT2-EFEM:适用于生产线;AT系列基本功能:1、全表面扫描Lumina AT系列结合椭圆偏光、反射测量、表面斜率与散射测量等基本原理,以非破环性方式对Wafer表面的残留异吻,表面与表面下缺陷,形状变化和薄膜厚度的均匀性进行检测。2、缺陷分析软件可以给缺陷分类,以直观易用的方各式提供缺陷数据。检测报告可以存档成.csv文件。3、缺陷位置标记用可选附件钻石刀标明重要的缺陷位置以方便进—步分析(比如扫描电镜等)。AT系列独特功能:1、多通道,高信噪比LuminaAT系到由四个检测通道组成的检测系统组成。四个通道同时工作, 每个通道分别对特定的缺陷进行检测和分类。2、可根据激光入射角厚度和反射率, 通过计算分辨出缺陷是否在上表面、下表面或者中间层。3、可适用于各种形状及厚度的样品。Lumina设备样品台由主支撑针和固定针组成, 通过两组针来固定样品, 适用于各种形状和厚度的样品。
技术指标
1、ATX系列内部AT1与AT2技术指标对比如下:
2、LuminaAT系列与传统的缺陷检测设备相比, 具有更高的灵敏度和适用性, 可以同时检测上表面和下表面的缺陷。同时, 具有更高的检测速度, 可以在很短的时间内对样品进行全表面扫描, 可极大的减轻人工检测的压力。
应用领域
1、透明样品AR/VR眼镜、特制镜片、掩光板、方形玻璃、菲涅尔透镜、蓝宝石、大玻璃面板、石英2、半导体单晶硅片、复合半导体晶片、碳化硅、砷化镓、铌酸锂、氮化镓应用示例a、玻璃及透明基底有机残留、外部划痕、内部划痕、内外部颗粒、残留应力b、AR波导光栅Lumina AT系列可以检测AR光栅上表面和下表面颗粒物划痕、颗粒、气泡、污渍等缺陷,从而对光栅性能做出评估或者对工艺改进提倛参考。c、棱镜表面污渍定位、表面划痕定位、表面颗粒定位d、碳化硅碳化硅为第三代半导体的代表材料, 具有高能量间隙、热导率、饱和漂移速度等优点,广泛应用千照明、光伏逆变器、充电桩等行业。Lumina AT系列可以分辨出碳化硅表面的各种缺陷, 为碳化硅生产和二艺的改进提供有力保障。e、硅片薄膜缺陷、芯片边缘污染、线性缺陷、陷坑、低洼、鼓包、刻蚀深度
lumina其他半导体检测仪AT系列的工作原理介绍
其他半导体检测仪AT系列的使用方法?
luminaAT系列多少钱一台?
其他半导体检测仪AT系列可以检测什么?
其他半导体检测仪AT系列使用的注意事项?
luminaAT系列的说明书有吗?
lumina其他半导体检测仪AT系列的操作规程有吗?
lumina其他半导体检测仪AT系列报价含票含运吗?
luminaAT系列有现货吗?
企业名称
北京正通远恒科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105001988017
成立日期
2001-03-09
注册资本
30
经营范围
科技产品的技术开发、技术培训、技术服务、技术咨询;信息咨询(不含中介服务);市场调研;财务咨询;零售仪器仪表、机械设备、电器设备、化工产品(不含一类易制毒化学品)、建筑材料、五金交电、计算机及配件、百货;承办展览展示;组织文化艺术交流。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
公司地址
北京市朝阳区胜古中路2号院8号楼F座309室
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公司名称: 北京正通远恒科技有限公司
公司地址: 北京市朝阳区胜古中路2号院8号楼F座309室 联系人: 刘敏 邮编: 100029 联系电话: 400-860-5168转0338
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