原子层沉积系统（ALD) P-1000 Pro

产地类别： 进口

衬底尺寸： 156 mm x 156 mm硅片800～1000片/批次（双面/背对背） 高达400 mm x 600 mm玻璃基板30～50片/批次（双面/背对背） 大批量的3D产品（例如：钟表部件，珠宝，硬币，医疗植入部件，机械部件等） 多孔，通孔，高深宽比（HAR）样品

工艺温度： 50 - 500 °C , 可选更高温度

前驱体数： 液态、固态、气态、臭氧源 前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务 8根独立源管线，最多加载12个前驱体源

重量： 2000 kg

尺寸(W x H x D)： 230 cm x 270 cm x 125 cm

均匀性： 大于99%