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使用 Agilent 8800 ICP-MS/MS 在冷等离子体反应池模式下测量超纯水中的超痕量钾及其他元素

2021/03/11 14:58

阅读:189

分享:
应用领域:
半导体
发布时间:
2021/03/11
检测样品:
集成电路
检测项目:
化学性质
浏览次数:
189
下载次数:
参考标准:
-

方案摘要:

采用 Agilent 8800 ICP-MS/MS 确认了水簇离子H3O(H2O)+ 的存在,其在冷等离子体条件下会在m/z 39 处产生 K 的背景信号。在 MS/MS 模式下,采用 NH3 作为反应池气体可成功除去该水簇离子。采用 8800 ICP-MS/MS 获得的 39K 的 BEC为使用常规四极杆 ICP-MS 获得值的 1/10。这一结果展示了 MS/MS 反应模式的优势,其能阻止所有非目标离子、等离子体衍生离子进入反应池,从而避免在反应池中产生可能造成干扰的产物离子。因此,Agilent 8800 ICP-MS/MS 能够使 UPW 中 K 的 BEC 低至 30 ppq,所有其他元素(包括Ca、Fe 和 Ni)的 BEC < 150 ppq。

产品配置单:

分析仪器

Agilent 8900 ICP-MS/MS

型号: 8900

产地: 美国

品牌: 安捷伦

面议

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方案详情:

采用 Agilent 8800 ICP-MS/MS 确认了水簇离子H3O(H2O)+ 的存在,其在冷等离子体条件下会在m/z 39 处产生 K 的背景信号。在 MS/MS 模式下,采用 NH3 作为反应池气体可成功除去该水簇离子。采用 8800 ICP-MS/MS 获得的 39K 的 BEC为使用常规四极杆 ICP-MS 获得值的 1/10。这一结果展示了 MS/MS 反应模式的优势,其能阻止所有非目标离子、等离子体衍生离子进入反应池,从而避免在反应池中产生可能造成干扰的产物离子。因此,Agilent 8800 ICP-MS/MS 能够使 UPW 中 K 的 BEC 低至 30 ppq,所有其他元素(包括Ca、Fe 和 Ni)的 BEC < 150 ppq。

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