二战开始之后,原子物理学研究和高质量电子管的需求,推动了真空技术的快速发展,特别是 1957 年瓦里安科技(现安捷伦科技)发明的离子泵,正式将真空技术带进了超高真空时代(参考文章:纪念特辑 | 离子泵发明 60 年,不仅这个世界,整个宇宙都被它改变了)。
1961 年,瓦里安科技又发明了一种可拆卸的,能承受高温烘烤的金属静密封法兰,并将其命名为 “ConFlat” 法兰, “ConFlat” 法兰之后被广泛的使用,并成为超高真空和极高真空法兰的行业标准(参考文章:ConFlat 法兰发明 60 周年了 玩真空的小伙伴 你真的了解它吗)。
离子泵发明之后 的60 余年里,瓦里安/安捷伦几乎包揽了超高真空技术的历次重要技术创新,并陆续开发了高真空扩散泵,涡轮分子泵、氦质谱检漏仪、涡旋干泵等诸多新产品。安捷伦真空产品产生的超高真空环境,为包括粒子加速器、同步辐射光源、医用加速器、电子显微镜、表面分析仪等仪器的应用保驾护航。
作为两个行业顶尖的公司共同打造的真空设备供应商,安捷伦真空拥有两个工厂,产品主要包括:真空泵,真空计,氦质谱检漏仪等,涉及从科研到工业的众多的应用领域,包括高能物理,分析仪器、半导体,电子显微镜,以及真空镀膜、热处理等。
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