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当前位置： 安捷伦 > 最新动态 > 买的好更要用的好 涡旋干泵使用维护小贴士

买的好更要用的好 涡旋干泵使用维护小贴士

安捷伦

2023/08/07 10:45

阅读：55

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涡旋干泵是一种干式的真空泵，其无需加油换油，也没有含油废气的排放，使用维护也非常方便，所以受到了很多客户的青睐。涡旋干泵可以用于质谱仪器、样品前处理、冷冻干燥、手套箱、电子显微镜等应用，同时，还非常适合作为分子泵前级，或者为半导体、镀膜等工艺的 Load Lock 腔室抽真空。

涡旋干泵的设计寿命一般为10年以上，但是为了避免计划外的故障停机，合理的使用和维护也非常重要。


正确的使用气镇

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真空腔体的内壁会吸附水分（特别是在潮湿的季节），这些水分在真空下会汽化形成大量的水蒸气。水蒸气被真空泵吸入压缩后，将会凝结成液态水并积存在泵内，造成真空泵极限真空变差，内部生锈，噪音增大等问题。
要解决这个问题，就需要用到气镇。气镇起到向真空泵内掺气的作用：当气镇口打开时，吸入外部干燥气体以稀释泵内水蒸气，从而避免水蒸气凝结。
对于水汽含量较大的应用，建议一直打开气镇；对于要求极限真空或者水汽含量较小的应用，可以在需要排水时让泵带气镇持续运行约1个小时，然后重新将气镇口关闭。


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IDP 7/10/15等型号设置了双气镇口，更靠近排气侧的气镇对极限真空的影响很小，对极限真空要求高的应用可以选择开这个气镇。
气镇的使用方法：
使用空气进行气镇时，拧下气镇口堵头螺丝，然后换上带金属滤嘴的气镇螺丝即可；如使用通过管道引入的氮气、氩气或干燥压缩空气（CDA），需要把进气压力控制在表压5 psi (0.3bar)以内，并保持泵运行时的气流量为5 升/分钟左右。


有大量粉尘的应用一定要加装粉尘过滤器

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在粉尘量较大的应用中，应加装进气口粉尘过滤器，以防止粉尘吸入。否则，大量的粉尘进入泵腔，将造成泵腔严重磨损，使整台泵失去维修价值。


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适当的使用氮气吹扫

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IDP系列的轴承被隔离在抽气通道之外，所以不会受到被抽气体的影响。而对于TS系列、SH110/SH112等轴承没有被隔离的型号，为了防止腐蚀性气体对轴承的侵蚀，泵在运行过程中，可以使用干燥氮气通过吹扫口通入对轴承进行保护，从而大大延长轴承的使用寿命。
吹扫组件的使用方法：


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拧下吹扫口堵头螺丝，将吹扫组件安装到吹扫口上，进气压力需要控制在表压5 psi (0.3bar)以内，并保持泵运行时的吹扫流量为5 升/分钟左右。


小保养-更换密封条

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涡旋干泵工作时，泵腔内的密封条会一直和对面的涡旋盘接触并摩擦，为了保护涡旋盘，密封条的硬度会低很多，所以两者摩擦时密封条会逐渐损耗，到达一定程度，就会带来真空度下降等问题，所以需要定期更换。


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通常把更换干泵密封条的操作叫做小保养。对于TS300/600, SH110, IDP-3等型号，密封条的更换周期为8000小时左右；IDP-7/10/15等型号的密封条寿命更长，更换周期为16000小时左右。


大保养-更换轴承等

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涡旋干泵每使用5年左右，或者当泵在运行过程中出现异响，通过清洁泵腔更换密封条等无法解决时，需要对泵进行更换轴承等操作，一般叫做干泵大保养。

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大保养包括：拆解清洗泵腔，更换全套轴承、小异型轴，更换全套密封圈，更换密封条，对整泵进行泄漏检测等。



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