“黑科技”加持！安捷伦推出全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS

　　近日，安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品，TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵在具有高性能、高可靠性的同时，还能做到更经济。

　　首先，高真空涡轮分子泵是什么?

　　涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/MS、TOF)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子加速器、高真空实验装置等诸多应用。

　　高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子，转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步，市场不仅对泵性能的要求越来越高，更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求。下面就来看看，为了满足这些要求，安捷伦最新的高真空涡轮分子泵都“加持”了哪些“黑科技”吧。

　　“黑科技” No.1 TwisTorr 拖动技术

　　通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽，而安捷伦 TwisTorr 技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上，这样就可以在有限的空间内集成多对拖动级转子盘和定子盘，节省空间的同时又能提高效率和性能。

　　采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑，并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比(特别是对小分子气体的高压缩比)可以带来更好的极限真空，而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵，从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。

　　“黑科技” No.2 AFS 安捷伦悬浮轴承技术

　　一般的涡轮分子泵的设计，泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的，一旦泵体有振动或冲击，这些振动就会传递到轴承，并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动，对振动特别敏感，传递到轴承的振动会影响轴承的寿命，传递到转子的振动会造成转子发生位移，甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触，巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎，整泵也随之报废。

　　安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动，保证最佳的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，最大程度减少系统停机时间，确保长时间工作的稳定性。

　　“黑科技” No.3 特殊润滑剂永久润滑轴承

　　使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感，因为在高真空环境下，润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面，这些油脂类的蒸气会形成一种气源，影响系统的真空度和纯净度;另一方面，这些蒸气进入到真空腔体后，会冷凝附着在其它零件上，影响高真空系统内相关设备的工作。

　　TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的特制轴承，能够任意方向安装;并且，由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低，正常使用时几乎没有损耗，使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。

　　“黑科技” No.4 分子泵控制器 “3D” 控制软件

　　早期的分子泵控制器又叫分子泵电源，其最重要的功能是向分子泵供电;后来，改进型的控制器具备了一定的保护功能，可以监控分子泵的功率和温度，相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线，分子泵只能在这条线以下工作(2D)，若超过这条线控制器就会报警停机。

　　与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到最优性能的曲面上(3D)，达到最佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

　　与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一个完整的系列。