2023/07/11 16:48
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产品配置单:
赛默飞iCAP TQ电感耦合等离子体质谱仪
型号: iCAP TQ
产地: 德国
品牌: 赛默飞
¥300万 - 500万
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Orbitrap Exploris GC 240
型号: Orbitrap Exploris GC 240
产地: 其他
品牌: 赛默飞
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Thermo Scientific™ Orbitrap Exploris 120
型号: Orbitrap Exploris™ 120
产地: 美国
品牌: 赛默飞
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赛默飞Dionex™ ICS-6000高压离子色谱系统
型号: ICS-6000
产地: 美国
品牌: 赛默飞
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方案详情:
赛默飞半导体分析检测方案
痕量金属元素和离子态杂质分析
赛默飞可为生产制程和痕量污染物分析提供创新、高灵敏度和可靠的痕量元素分析解决方案,以确保 QA/QC 一致性,减少晶圆缺陷。iCAP TQs 独特的变频阻抗RF 发生器设计,可稳定进样挥发性有机溶剂,优异的冷等离子体和专利平面四极杆碰撞反应池技术可消除多原子离子干扰,确保ICPMS 测定获得低的检出限。Element 2 HR-ICP-MS 拥有高通用性和高灵敏度确保最终数据的可信度,是痕量元素测定的黄金标准。
材料分析及研发、未知物定性定量
赛默飞气质联用仪和液质联用仪能为半导体提供晶圆制程相关有机污染物分析、材料分析及研发中成分解析等行业领先的有机分析解决方案。OrbitrapTM ExplorisTM 系列高分辨质谱仪,可从复杂的背景干扰中分离得到目标物,对含量极低组分进行定性定量检测,为半导体制程中的未知物定性分析提供了可深度挖掘的原始数据,为发现新化合物、寻找低浓度关键标志物提供可能。
高纯材料直接进样分析
ELEMENTTM GD PLUS 辉光放电质谱仪(GD-MS)重新定义了直接从固体样品取样进行的高纯材料分析,具有超低的检出限,仅需少量校准和样品制备工作,使GD-MS 适用于靶材、高纯硅、碳化硅、石墨等材料中痕量杂质分析和注入离子深度剖面分析。
半导体材料表面清洗化学品
晶圆加工过程中,为避免受到颗粒物、有机物、金属、静电释放等污染影响,硅片表面清洗过程不可或缺。硫酸、双氧水、氢氟酸、盐酸、氨水、硝酸等湿电子化学品,由于与晶圆直接接触并大量使用,纯度要求非常高,其杂质金属离子、无机阴离子和铵根在 SEMI 标准中都有明确的分级和限量标准,赛默飞依据SEMI 标准可为晶圆表面清洗化学品分析提供完整解决方案。
半导体材料晶圆制程化学品
晶圆制造过程中,光刻工艺约占整个集成电路制造成本的35%,是半导体制造中的核心工艺,涉及到的材料包括多种溶剂、 酸、碱、高纯有机试剂、高纯气体等。晶圆表面痕量的无机金属离子和非金属离子都会影响芯片成品的可靠性和良品率,赛默飞可为晶圆制程所用半导体材料提供无机和有机分析解决方案。
半导体材料晶圆制程特种气体
半导体制造晶圆基材及溅射靶材
半导体产业中硅片晶圆等原材料纯度要求通常在99.9999999%(9N)以上,在半导体制造过程中,需要严格的对晶圆表面金属杂质污染进行检测,将环境引起的晶圆污染降至最低。半导体芯片是金属溅射靶材的主要应用领域之一,靶材与晶圆表面直接接触,对其纯度要求很高。赛默飞可为半导体制造超痕量污染物以及5-6N 高纯金属溅射靶材提供检测方案。
半导体制造在线监测方案
晶圆制造洁净室空气及环境监测
洁净室和微环境中空气贯穿整个生产工艺流程,要最大程度减少环境引起的晶圆污染,必须分析气体介质中微粒、杂质和特定污染物,包括有机物、痕量金属等。提高半导体良品率同时需要将制造过程对环境影响降至最低,赛默飞可为废水、废气中各项污染物提供准确的分析解决方案,并提供VOCs 和污染离子的24 小时在线监测。
• 污染源废气中酸雾、氯化氢;废水中酸/ 碱离子、氰根、硫离子等测定;大气中离子在线监测 – 离子色谱仪
• 固定污染源废气中挥发性有机物(苯系物、卤代烃、烷烃等)、非甲烷总烃等分析、VOCs 在线分析– GC&GCMS
• 洁净室或废水废气中挥发性和半挥发性有机物分析 – GC&GCMS
• 金属离子污染物分析 – TEA
半导体封装测试
镍镀液的成分较复杂,除镍、无机盐之外,还有各种不同作用的特殊添加剂。镍镀液添加剂作为重要的工艺材料,可防止FOWLP 等先进封装技术中RDL 断裂以及铜/ 焊料界面处出现针孔,降低镀层的内应力,使镀层厚度发布更均匀。需要根据电镀液成分的变化来调节电镀参数。
赛默飞UHPLC 超快速液相方法可对不同种类的添加剂同时进行检测分析,电雾式检测器(CAD)对于其中缺乏紫外生色团,通常不挥发的添加剂,具有更高的灵敏度。UHPLC-CAD 方法快速准确的测定结果有利于添加剂含量的控制,可以为镍镀液提供更有效的质量控制手段,降低生产成本,提高产品质量。
电子元件分析
半导体集成电路是电子产品的核心器件,电路类器件如二极管、电阻器、连接类器件如印刷电路板(PCB)等的制造需严格遵循RoHS 和《电子信息产品污染控制管理办法》指令要求。赛默飞完全理解 RoHS 指令和《电子信息产品污染控制管理办法》的深远含义,可为阻燃剂、增塑剂及金属离子检测提供全面的解决方案,包括仪器、消耗品、软件和技术支持。
赛默飞可为多溴联苯、多溴二苯醚阻燃剂、邻苯二甲酸酯和多环芳烃等危害有机物的前处理、筛查和测定等提供加速溶剂萃取(ASE)、燃烧离子色谱 (CIC)、气相色谱质谱联用仪 (GC-MS) 和高效液相色谱仪(HPLC)等技术,并提供原子吸收光谱仪 (AAS)、电感耦合等离子发射光谱仪 (ICP-OES)、电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)和离子色谱仪(IC)用于测定镉、铅和汞,分离并测定六价铬,帮助电子电器设备制造商应对供应链带来的挑战。
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高压离子色谱Inuvion快速测定自来水中的常见阴离子
水中常见阴离子如氟离子、氯离子、亚硝酸根、硝酸根、溴离子、硫酸根、磷酸根等的含量,与水质密切相关。在《GB5749-2022 生活饮用水卫生标准》中,氟化物、硝酸盐、氯化物、硫酸盐作为生活饮用水水质常规指标,并给定了限值。在《GB8537-2018 食品安全国家标准 饮用天然矿泉水》中,对氟化物、硝酸盐、亚硝酸盐给与了限度要求。与传统离子检测方法,如分光光度法、电位滴定法、容量法和离子选择电极法等方法相比,离子色谱具有分析速度快、操作方便、选择性好、灵敏度高、性能稳定等优势,在水质分析中得到了广泛应用[1-20]。涉及到阴离子检测的标准及检验方法,大多使用离子色谱对多个阴离子进行同时测定,如《GBT 5750.5-2023 生活饮用水检验方法》、《GB 8538-2022 食品安全国家标准 饮用天然矿泉水检验方法》、《GBT 39305-2020 再生水水质氟、氯、亚硝酸根、硝酸根、硫酸根的测定离子色谱法》、《GBT14642-2009 工业循环冷却水及锅炉水中氟、氯、磷酸根、亚硝酸根、硝酸根和硫酸根的测定 离子色谱法》、《GB 13580.5-1992 大气降水中氟、氯、亚硝酸盐、硝酸盐、硫酸盐的测定离子色谱法》等国标方法,以及大量行业标准和地方标准。 在常规条件下,7种不同的阴离子,需要在10-30分钟内完成分离。近10年来,多款高压离子色谱产品及多种小粒径阴离子色谱柱相继推出,使离子色谱进入了新时代,也使高效、快速的阴、阳离子分离方法有了实现的可能。本篇AN使用赛默飞2023年发布的高压离子色谱新品Inuvion,开发出了一种快速分离的方法,搭配4 m的IonPac AS18小粒径柱,7分钟内完成7种阴离子的分析,灵敏度高,分离度好。
环保
2024/07/25
高压离子色谱Inuvion快速测定生活饮用水中的亚氯酸 盐、溴酸盐、氯酸盐、二氯乙酸和三氯乙酸
生活饮用水消毒过程中,消毒剂(如氯、氯胺、二氧化氯和臭氧)与无机物或有机物发生反应时,会产生消毒副产物(Disinfection by-products,DBPs)。一些消毒副产物已经被证实具有致癌性、生殖和发育毒性等,对人群健康构成潜在威胁[1]。在《GB 5749-2022 生活饮用水卫生标准》中,有5种消毒副产物作为生活饮用水水质常规指标,并给定了限值。其中,溴酸盐的最高含量不允许超过10 g/L,亚氯酸及氯酸盐含量均不得超过0.7 mg /L,二氯乙酸和三氯乙酸的最高含量分别不允许超过50 g/L和100 g/L。 饮用水中除含有消毒副产物外,还含有多种常规离子,如氯离子、硝酸根离子、碳酸根离子、硫酸根离子等,含量可达数百ppm,对消毒副产物的分离和检测有一定干扰。《GBT5750.10-2023 生活饮用水标准检验方法第10部:消毒副产物指标》中,给出了推荐的色谱条件,使用KOH作为淋洗液,梯度洗脱,分析方法时长约为40 min。 近10年来,多款高压离子色谱产品及多种小粒径阴离子色谱柱相继推出,使离子色谱进入了新时代,也使高效、快速的分离方法有了实现的可能。本篇AN使用赛默飞2023年发布的高压离子色谱新品Inuvion,开发出了一种快速分离的方法,借助于4m的IonPac AS19小粒径柱,21分钟内完成生活饮用水中亚氯酸盐、溴酸盐、氯酸盐、二氯乙酸及三氯乙酸,与国标推荐方法相比,效率提升100%。Inuvion的卓越性能,使该方法在分离度、准确度、稳定性均符合要求的前提下,检出限远低于国标限度要求,可满足用户对于生活饮用水中的消毒副产物快速、高通量的检测需求。
环保
2024/07/25
Thermo Fisher Scientific iCAP TQe ICP-MS/MS测定土壤和沉积物多种元素
本应用指南重点介绍了根据第三次全国土壤普查和环境监测方法 HJ766 和 HJ803 进行的土壤样品分析1,2。特别是,证明了Thermo Scientific™ iCAP™ TQe 三重四极杆 ICP-MS/MS 具有可靠的性能保证,提供了一种简单直接的分析方法,该方法仅使用氧气作为反应气体,具有出色的干扰消除能力和更高的灵敏度,达到了以单碰撞模式为主的SQ ICP-MS工作效率。
环保
2024/02/27
赛默飞色谱质谱土壤污染物分析解决方案-助力全国第三次土壤普查
万物土中生,土壤是人类赖以生存的物质基础。近年来频发的土壤污染事件频发,对食品安全、人居环境和人体健康都构成严重威胁,土壤污染防治工作迫在眉睫。 在“土十条”、“土壤环境质量标准”基础上,2022 年2 月,国务院印发了《关于开展第三次全国土壤普查的通知》,决定自今年起开展第三次全国土壤普查,全面深入推进耕地质量监测、评价、建设和保护等工作。 土壤环境监测作为检测土壤质量的有效手段,通过对土壤中重金属、有机污染物等污染物监测,能为土壤环境污染治理和预防提供参考依据。赛默飞土壤污染物解决方案,紧贴国家标准,涵盖仪器、软件、色谱柱、耗材和应用,我们采用行业前沿方案帮助解决您所面临的棘手的土壤污染物分析挑战。
环保
2024/02/27