以异丙醇为例,在半导体工业中异丙醇可作芯片等表面清洗溶剂,异丙醇具有较高的挥发性和较低的残留物含量,可用于清洗半导体材料表面,是最常使用的有机试剂之一。而基于半导体行业的特点,对有机试剂的纯度要求极高,因此对有机试剂进行杂质分析极为关键。
利用Orbitrap Exploris GC超高分辨气质联用仪对市售的两个不同品牌异丙醇进行杂质鉴定。
通过高分辨谱库及精确质量碎片推算结构,样品1中杂质1的最终确定为 C6H14O(Thexyl alcohol),其质谱图与结构式如下:
通过高分辨谱库及精确质量碎片推算结构,样品2杂质1的最终确定为 C6H12O2(Butyl acetate),其质谱图与结构式如下:
通过高分辨谱库及精确质量碎片推算结构,样品2杂质2的最终确定为 C23H44O3,其质谱图与结构式如下:
Orbitrap Exploris GC超高分辨气质联用仪在对高纯试剂进行杂质鉴定的同时也能对鉴定的杂质进行精确定量。
图5 对高纯试剂杂质苯甲醛进行鉴定并对其进行精确定量(点击查看大图)
Orbitrap Exploris GC超高分辨气质联用仪在全扫描模式下依然具有极高灵敏度,能实现半导体有机试剂杂质的有效检出,结合最高24万分辨率和极佳的质量精度,获得精确的同位素分布信息,对半导体有机试剂杂质实现有效检出的同时进行准确的结构推定并对其精确定量。