2019年6月17日，“发现科学之美”——2019国科大·牛津显微分析学院开课仪式顺利召开，开始为期5天的课程。本次由国科大和牛津仪器共建的“国科大·牛津显微分析学院”，一直致力于打造科教融合、强化实践运用、多样化教学等一系列培训课程，为选课的学生打造一个非常优质的学习平台，一起感受科学的魅力。开课仪式现场牛津仪器中国区总经理—张鹏国际学院兼未来技术学院—胡中波副院长学生领取证书集体照

迈上技术革新之路，挑战显微分析极限；尽享科学研究之美，科研也是别有洞天 。牛津仪器期待您提供优秀的显微分析成果，一起来发现微观之美！参赛要求•参赛图片必须是使用牛津仪器设备完成的EDS或EBSD结果图片•参赛文件组成a)参赛图片, 要求为像素在512*512以上的JPG格式（允许使用Photoshop等图像软件适当美化）b)参赛图片相关的原始数据文件，如AZtec软件采集的数据文件包c)使用WORD文件陈述参赛项目: 包含根据图像意境命名的参赛作品名称，样品情况说明和采集参数设置 （如放大倍数，加速电压，采集时间等）。奖项设置*以上图片仅供参考，奖品以实物为准。投稿截止后，牛津仪器将通过官方微信平台开通在线投票通道，大赛所有奖项将在2019牛津仪器用户会现场根据投票结果决出。投稿方式•发送文件至 NAmeeting.China@oxinst.com  •或网上在线提交：www.51haocai.cn•或直接扫描二维码投稿•投稿截止时间：2019年10月25日任何有关大赛问题欢迎致电400-678-0609或发送邮件咨询，我们会尽快与您取得联系。

在英国皇家工程学院MacRobert奖50周年之际，我们很高兴地宣布，英国皇家邮政已发行了一套10枚的邮票以纪念50年来英国工程界的一些传奇故事，包括三位Macrobert奖得主。其中超导磁体邮票也作为6枚特别邮票之一被推出，以庆祝这一历史性的产品，同时也展示出了英国工程创新受到全世界尊敬的原因。英国工程有着令人自豪的悠久历史—从最小的计算机—Raspberry Pi，到Johnson Matthey开发的三元催化转换器，再到牛津仪器的超导磁体使核磁共振扫描成为可能。这三项创新都荣获了Macrobert奖。牛津仪器业务发展和战略营销总监 Michael Cuthbert博士说：“由于我们的创始人Martin Wood爵士和开发这项技术的工程师团队的远见和独创性，核磁共振扫描仪的广泛应用对社会和人类健康产生了非凡的影响。今天，牛津仪器将继续开发新的低温和超导技术，用于材料的表征、研究和探索。”超导磁铁应用于核磁共振成像（MRI）今天，核磁共振成像（MRI）广泛使用于世界各地的医院中，可通过生成我们身体内部图像来帮助诊断癌症、内出血或感染等疾病。如果没有强大的超导磁体，这种革命性的无损伤探测技术是不可能实现的。牛津仪器的Martin Wood爵士早在上世纪60年代就已将超导磁体应用于人体扫描。1978年-牛津仪器首台用于全身核磁共振成像的超导磁体超导磁体由一个大线圈组成，当电流通过线圈时，由于电磁定律，线圈会产生一个强磁场。线圈本身是由嵌入铜基体的细丝状铌钛合金制成。如果冷却到10开尔文（–263摄氏度）以下，这种材料就会转为超导态。在这种状态下，它的电阻几乎为零，磁场一旦产生就会自我维持下去——在运行过程中不需要外部提供电力。超导线圈通过液氦来冷却，并通过真空保持与外界环境的热绝缘。这样，核磁共振仪中的线圈可以产生大约比地磁场强50000倍的磁场。英国皇家工程院于1986年将Macrobert奖授予牛津仪器，以此表彰其在超导磁体方面的出色工作。1980年-皇家工业学会晚宴上，英国女王的母亲正尝试用铁链感受磁场拽力英国皇家工程学院MacRobert奖MacRobert奖是英国工程学会颁发的一项奖励，由MacRobert·Trust于1968年设立，用来奖励在工程或物理工艺方面重要的发明与革新，以及在物理科学应用方面取得的杰出成就。这项奖可以授给个人，也可以授给几个人组成的科学家小组。该奖已被看作是英国在工程领域的一项主要奖，它所奖励的发明和成就使英国在世界上的声望大大提高，也对英国工业的发展起了非常大的作用。

Hi，大家好，我是牛津仪器小记者“小Q”，从今天开始小Q会采访我们牛津仪器的专家，聊一聊他们对相关领域的见解或经验，以期帮助大家更好地使用牛津仪器的各类产品哟！EDS技术近年来发展迅速，不断涌现的新硬件软件系统，不仅大大提高了分析速度也提供了更灵敏的分析精度。但是对于定量，人们通常会有这么一个疑问：我怎么知道我的结果是否可信呢？今天我们就来采访纳米分析部EDS产品经理，Simon Burgess 博士，看看他日常是怎么做的呢？小Q：Simon你好，欢迎来到我们今天的牛津仪器小课堂。Simon：小Q，你好。小Q：我们有很多用户表示能谱定量操作很简单，但是怎么知道这个定量结果是可靠的呢？偏差有多大呢？您有什么建议呢？Simon：其实这个问题并没有统一的答案，因为不同样品所采用的条件是不同的。但是，我们确实可以通过简单的三步操作来了解自己EDS系统定量的误差范围，这也是我每碰到一个新系统时所做的前续工作。小Q：能跟我们详细分享一下么？Simon：好的。以一个常规定量为例说明，首先，选择标样，最佳的标样是与待测样品相近的样品，如果没有标样，我们可以寻找一些固定组分的样品，如钢渣，就像这张图一样。Simon：钢渣中含有多种不同组分的尖晶石相，而尖晶石的组分都是固定的AB2O4形式。其中A是二价阳离子，如Fe、Mg、Mn、Zn等；B是三价阳离子，如Cr、Al等。这就意味着其中O含量是固定的57.1 at.%，二价阳离子和三价阳离子含量分别为14.3 at.%和28.6 at.%。在任何系统中对该样品进行定量分析就可以大致了解该系统的性能以及利用它在某一条件下对矿物、陶瓷、钢铁等样品定量的误差范围。Simon：第二步就是对EDS系统性能的检测。首先使用常规的电压、但较低的计数率来对系统的状态进行检测，这就需要选用20 kV和长处理时间。小Q：此时对束流或者计数率、时间等有要求么？Simon：是有的。对于不同的探头，所需要的时间是不同的。如果使用的是Ultim Max系列的大面积能谱，即使在1nA的束流密度下，输出计数率可达到50,000cps，总采集时间10 s就足够了。Simon：以下就是使用以上条件对钢渣样品中的富Cr和富Al的两种尖晶石相的成分（原子百分比）及三价、二价阳离子的总含量（B3+，A2+）。原子比非常接近理想的AB2O4，这证明该EDS系统在常规条件下进行定量分析的结果误差很小。小Q：如果此时发现原子比严重偏离了理想值呢？Simon：在确保标样成分正确的前提下，那就需要寻找原因了，比如样品的倾斜角是不是设置错误，比如谱峰是否偏移了。小Q：样品倾斜角设置很多人都知道了，一定要跟实际倾斜角一致，那么谱峰偏移呢？Simon：如果日常使用场发射电镜，实验室温湿度起伏不大，通常不会出现明显谱峰偏移，但是对于使用钨灯丝电镜的，我们还是建议每次换灯丝后进行以下能量校准。小Q：那大家如何知道何时该进行能量校准呢？Simon：当自动标定谱图时出现一些本不存在于样品中的元素，且该元素峰位与样品元素的峰位相近时，就该考虑是不是谱峰偏移了。其实还有一个非常简单的自检方法，放入纯金属块，采集谱图，观察实测谱图与拟合谱图是否能够很好的匹配，如果匹配很好就证明谱峰位置正常，如果略有偏差，就该进行能量标定了。小Q：好的，明白了。相信到此为止，我们已经可以进行常规的定量了，那最后一步又是什么呢？Simon：最后一步是为了提高效率的。小Q：啊，的确。如果需要打很多点，势必需要提高效率。那怎么提高效率呢？Simon：通常通过增加束流、减小处理时间来实现。小Q：那增加束流、减小处理时间会影响定量的结果么？Simon：这就是第三步要验证的问题，样品在大束流、短处理时间下定量结果会变么？是否还属于可接受范围？Simon：对于上面这个钢渣样品，增加束流，使用处理时间2，使输出计数率达到320,000cps（对于Ultim Max100，此时束流仍低于10nA），采集一个谱图的时间只需不到2s。其定量结果显示如下表，与理想化学式AB2O4仍然高度吻合。那么，这样的结果是否足够好呢？这取决于您所需要的定量精度。小Q：那是不是意味着所有的EDS系统，所有样品都可以用那么短的处理时间来进行定量呢？Simon：并不是的。首先，必须要有非常灵敏、低噪音的探头，再搭配快速的稳健的谱图处理器才可以。Ultim Max探头和X4处理器采用的技术提高了大信号量下的和峰修正能力，因此才可以在高至400,000cps下进行准确定量。其次，涉及到轻元素的定量应该更谨慎，可以自己尝试一下用这个方法看看待测轻元素的定量误差。小Q：好的，明白了。Simon：完成以上三步，如果AutoID和定量结果都与预期一致，那就可以对待测样品进行后续分析了，这包括了定量、TruMap、PhaseMap等。这些功能给出正确结果的前提是EDS系统稳定、谱图处理工作正常。Simon：可以将这三步应用于所有的样品、所有的条件检测中。例如，将面分布图中重构的面总谱图用于定量，结果可靠么？或者，降低电压以增加空间分辨率时定量结果如何？试着更了解自己的EDS系统仪器，掌控它，以提供更高效、更准确的能谱分析。小Q：好的，谢谢Simon的经验分享。Simon：非常荣幸。相信通过Simon的分享，大家已经跃跃欲试了，那么我们赶快去实验一下吧。我们下期小课堂再见！

牛津仪器纳米分析部非常荣幸地宣布Ultim®Extreme探测器系统获得了知名的2019年女王奖。女王企业奖分为四类：国际贸易、创新、可持续发展和促进机遇（通过社会流动）。Extreme系列探测器此次获得的是创新类奖，这些奖项仅授予英国公司和产品，旨在表彰这些企业和产品领先的创新技术和持续获得商业成功的能力。一般来说，其中又以创新类奖最难获得，全球每年颁发女王创新奖不到50个。Ultim®Extreme探测器因其独特的设计获奖，经过多年的开发，该项设计能在电子显微镜的样品中检测到非常低能量的X射线，这在以前被认为是非常困难的。成功测量这些低能量的X射线可以为我们的客户完成一系列的工作，包括电池研究中使用的锂的测量和半导体样品的高分辨率测量。而且，该探测器在商业上也获得了巨大的成功，上一财年其销售额超过了300万英镑。在接下来的几周里，我们将在位于英国海威科姆的办公室庆功。我们的两位同事，Peter Statham和Simon Burgess将于6月代表我们出席在白金汉宫由女王主持的仪式。感谢并祝贺所有参与设计、开发、制造、推广和销售这款独特产品的人们。牛津仪器将持续创新，为用户提供高科技解决方案及相关服务和支持，您可通过牛津仪器官网了解更多此产品信息，或参加牛津仪器会议现场了解更多。

近日，仪器信息网公布了中国科学仪器市场“仪器创新活力指数”TOP30排行榜，牛津仪器入选榜单。“仪器创新活力指数”汇总了2008年以来1162家企业所发布的6585台仪器新产品统计记录，并结合仪器信息网中国科学仪器行业年度“优秀新产品”和“绿色仪器”评选结果编制而成。本文对牛津仪器的创新活力情况进行条分缕析，用仪器信息网大数据，带您领略牛津仪器的创新“硬核”。中国科学仪器行业“优秀新产品”评选活动由仪器信息网发起，旨在将在中国仪器市场上推出的、创新性比较突出的国内外仪器产品全面、公正、客观的展现给广大的国内用户。评选活动自2006年启动以来，已经成功举办了十三届。根据仪器信息网历史大数据分析，截至目前，牛津仪器共在仪器信息网“新品首发栏目”发布新品45台，其中有17台进入当年“科学仪器优秀新产品”入围名单，3台成功入选“科学仪器优秀新产品”名单。——新品介绍牛津仪器入围2015-2017年“科学仪器优秀新产品”仪器名录产品名称所属分类上市时间无液氦稀释制冷机系统制冷设备2016年3月极高性能电化学原子力显微镜表界面物性测试2016年12月高速共聚焦成像平台（入选）光学显微镜2016年9月牛津仪器Cypher   ES高分子原子力显微镜电子显微镜2015年10月牛津仪器无窗超级能谱Extreme电子显微镜2015年6月台式直读光谱仪光谱2015年10月★高速共聚焦成像平台：      高速共聚焦成像平台Dragonfly的核心功能是多点高速，高灵敏度共聚焦成像，其采集速度比普通点扫描共聚焦技术快至20倍。另外采用高分辨，高灵敏的探测器，有效减少活细胞成像的光毒性及光漂白，同时也适合于固定样品的高分辨快速三维成像。第二种成像模式为激光照相的宽场荧光成像。这种模式适用于极弱荧光成像，如酵母及其他非常薄的样品，或者如钙离子成像等极高速实验。另外适用于对激光能量密度要求很高的单分子荧光定位实验，可用于单分子定位超分辨实验。第三种成像模式TIRF（全内反射荧光显微镜），这种模式适用于细胞膜及附近蛋白的动态成像及体外单分子实验。Dragonfly TIRF可以共用共聚焦显微镜、激光、成像相机和滤光片转轮等，Dragonfly TIRF系统对任意两种波长的激光激发深度做实时校准，可实现任意两种波长的同深度激发同时成像，提高不同颜色标记的定位准确性。另外，Dragonfly具有光学变倍Zoom功能，有效对成像物镜和探测器分辨率进行匹配，提高成像分辨率及灵敏度。Dragonfly激光照明部分同样具有照明Zoom功能，可用于提高激光照明密度，用于高能能量激光实验，如超分辨单分子定位及超高速快速采集成像。Dragonfly系统具有自适应光学矫正系统，保证成像质量。——企业简介：牛津仪器科技（上海）有限公司隶属于英国牛津仪器。牛津仪器公司于1959年创建于英国牛津，是英国伦敦证交所的上市公司，主要生产分析仪器、半导体设备、超导磁体、超低温设备等高技术产品。经过五十多年的发展，牛津仪器现已成为科学仪器领域的跨国集团公司，生产基地、销售和服务网络，客户遍及一百多个国家和地区。公司自1997年进入中国市场以来，实现了飞速发展，全国设有四个办事处及一个生产维修中心，演示中心包括原子力显微镜实验室、NanoScience实验室、纳米分析实验室等。（注：中国科学仪器市场“仪器创新活力指数”TOP30排行榜其他入选企业及完整榜单详情将于近期在仪器信息网新品首发栏目陆续公布，敬请期待！）

近日，SEMICON China 2019在上海新国际博览中心成功召开，超过1000家来自全球的参展商参与了此次盛会，期间牛津仪器携全套半导体解决方案参展。                        SEMICON China 2019 牛津仪器展位本次参展牛津仪器带来了全套半导体材料纳米制造和分析工具解决方案，其中包括了半导体激光器应用的工艺解决方案、功率器件工艺的解决方案、MEMS&传感器的工艺解决方案、生物医学器件的工艺解决方案、整块芯片微观区域成份表征、同一机台多个失效分析、通孔中的晶粒尺寸及微观结构差异表征、PN结中的掺杂元素表征、全新大样品全自动原子力显微镜Jupiter XR表征等多角度全方位的方案应用。其中Jupiter XR为牛津仪器3月份刚刚发布的新一代大样品全自动原子力显微镜，据牛津仪器相关负责人介绍，Jupiter XR可以对超过8寸的晶片进行全方位的测试，扫描范围最大可达100微米，扫描速度相比前代产品提高5-20倍，该仪器标配了牛津仪器Asylum Research光热激发blueDrive Tapping扫描模式，能够实现快速稳定成像，从而实现同一根探针连续扫描1000次，粗糙度偏差仅小于1%。“牛津仪器在半导体领域有着全面系统的解决方案。我们有半导体领域的制备设备、能谱检测设备以及快速扫描的全自动大样品原子力显微镜检测设备，具备一个整体综合的解决方案。除了半导体领域，还可以广泛应用于物理、化学、生物、地质等领域。”牛津仪器相关负责人告诉笔者。本次参展，牛津仪器还带来了一项重要的概念转型：从lab 到fab。牛津仪器脱胎于牛津大学，以往大部分客户是面向研发的，在学术界拥有卓著的口碑。从lab到Fab，则代表了牛津仪器对工业领域的高度重视。据牛津仪器相关负责人介绍，公司产品整体的性能和解决方案能力已经提升到一个新的台阶上，特别在半导体领域，产品线已经涵盖了制备设备、生产优化、质检分析、 粗糙度分析、失效分析等方方面面。因此公司在扎根科研市场的同时，将更多地从工业应用角度切入，把已有的经验、知识、新技术、拓展到工业大样品领域发展。牛津仪器参展商合影

传统能谱仪通常关注于微米或亚微米量级特征或对微量元素仅能通过点分析获取不同区域的细微差异。而现在的研究更希望提高空间分辨率或以更加直观的方式体现元素含量的细微差异的分布，在一些应用要求中，为制造更加均匀的材料提供直观的实验数据。而Ultim Max系列能谱仪，尤其有效晶体面积达到170mm2时，灵敏性大大提高，可以更加有效利用高计数率对样品中1%以内的元素含量变化做出灵敏应对。Ni基高温合金以其优异的高温强度、良好的抗氧化、韧塑性、耐热腐蚀性及稳定的组织等性能，被广泛用于航空、航天、能源及石油化工等领域。由于合金含量较高，容易出现合金元素偏析缺陷，会导致合金性能不均匀，降低合金的强度、塑性等宏观性能。因此高灵敏、高准确性的检测元素偏析对分析高温合金显微组织-工艺-性能关系非常重要。图1 对高温合金中偏析区域（a）做普通面分布图（b、d、f所示）以及QuantMap的离散彩色图（c、e、g所示）后者根据颜色标尺，体现元素含量分布差异。（感谢北京科技大学黄海亮老师提供样品）Ni基高温合金样品局部区域出现元素偏析，如图1所示，采集时间5min。其中图1（a）显示电子图像，样品中出现异常不均匀区。经能谱普通面扫描分析，不均匀区主要Fe、Cr元素偏高，Ti元素偏低（如图1 b、d、f所示），但无法确认偏析程度。经AZtec EDS中QuantMap定量面分布图功能，可以量化逐一像素点的元素含量，确认偏析程度约1%，如图1中c、e、g所示离散彩色图。同时也可以对该区域进行线扫描分析（如图2所示），并获得每像素点下元素定量分布图（QuantLine），采集时间3min。也同样看到异常区域Fe、Cr元素明显偏高，而Ti元素含量相对偏低。利用大面积Ultim Max170对采集X射线计数的高效及高灵敏性，可以获得元素含量差异极小的分布图，这是普通能谱无法企及的。该工作为进一步优化制备工艺、变形工艺获得更加均匀的高温合金，提供实验依据。图2对偏析区域做定量线扫描QuantLine，获得不同元素含量分布差异类似的结果我们在某L245M管线钢样品的中珠光体区域Mn及C元素的元素质量百分含量分布图(QuantMap)中也可以观察到（如图3所示），由于Ultim Max 170大面积能谱的使用，仅用时7分钟便完成数据采集。由于元素含量较低，且差异较小，利用离散彩色对QuantMap结果进行表征。图3(b)清晰的展现了珠光体区与铁素体区的C元素含量差异。图3(d)与图3(e)为(a)中绿色直线区域的定量线扫描(Quantline)，该功能可以用来描述一维方向上含量的变化，可见该区域C元素与Mn元素的偏析量低于0.5%。图3 某L245M管线钢样品珠光体区域元素QuantMap定量面分布的离散彩色图及Quantline定量线扫描结果.（感谢江苏省(沙钢)钢铁研究院吴园园老师提供样品）本文两次实验均采用大面积能谱Ultim Max 170进行元素X射线采集，并于定量面分布图中很好的显示了元素在含量上的微小差异。Ultim Max 170具有有效晶体面积较大的特点，可以显著提高元素检测的效率，对微量元素或差异极小的元素分布更加灵敏，更适合类似的检测要求。

SEMICON China 是中国首要的半导体行业盛事之一，旨在助力中国半导体及相关产业的持续健康发展。每年，来自全球超过1000家展商，超过50000名专业观众都将参加这一年度盛会。 同时，来自行业、科研机构和政府的高层管理人员将汇集一堂，共话产业发展。牛津仪器也将参与此次盛会，届时将会在展位上展出公司的核心产品，同时将会有应用科学家为您现场讲解。牛津仪器展位  时间：2019年3月20-22日 地点：上海新国际博览中心                        N1馆 1635同期论坛功率及化合物半导体国际论坛2019日期：2018年3月22日         10:50-11:15 地点：上海浦东嘉里大酒店，浦东厅4主题：先进等离子加工技术在宽禁带半导体功率器件中的应用演讲者：牛津仪器等离子部门—Aileen O' Mahony博士半导体材料制备设备半导体材料表面分析和测试设备在线预约获得与专家互动机会现场享用星巴克咖啡及精美点心

SEMICON China 是中国首要的半导体行业盛事之一，旨在助力中国半导体及相关产业的持续健康发展。每年，来自全球超过1000家展商，超过50000名专业观众都将参加这一年度盛会。 同时，来自行业、科研机构和政府的高层管理人员将汇集一堂，共话产业发展。牛津仪器也将参与此次盛会，届时将会在展位上展出公司的核心产品，同时将会有应用科学家为您现场讲解。牛津仪器展位时间：2019年3月20-22日地点：上海新国际博览中心 N1馆 1635同期论坛功率及化合物半导体国际论坛2019日期：2018年3月22日            10:50-11:15 地点：上海浦东嘉里大酒店，浦东厅4主题：先进等离子加工技术在宽禁带半导体功率器件中的应用演讲者：牛津仪器等离子部门—Aileen O' Mahony博士半导体材料制备设备                        Cobra®刻蚀沉积                                                          Estrelas®深硅刻蚀   半导体材料表面分析和测试设备                          Ultim® Extreme探头               Jupiter XR™ AFM在线预约获得与专家互动机会现场享用星巴克咖啡及精美点心如有疑问请咨询牛津仪器热线电话400-678-0609

　　仪器信息网讯 2月27日，牛津仪器Asylum Research宣布推出新型原子力显微镜(AFM)——Jupiter XR™ AFM，这是一款能够利用单一扫描器同时提供全自动、多功能、高扫描速度和高精度的大样品AFM。全新大样品原子力显微镜Jupiter XR™ AFM　　Jupiter XR™提供超过210 mm的样品空间，可呈现更高分辨率，更快速获得结果，用户操作更简单，并且同时满足学术研究和工业研发需求。通过Asylum Research近20年的AFM技术创新历史积累，Jupiter XR™将大样品原子力显微镜的性能提升至新高度。　　“多年来，用户们一直期望我们能够提供一款大样品AFM，我们也非常高兴这款新推出的Jupiter从性能和易用性等多个方面都能满足用户的需求。” Asylum Research总裁Roger Proksch博士表示，“创立至今，Asylum Research始终致力于不断推动AFM技术的极限，Jupiter XR™不但具备了一系列Asylum Research独特核心技术——低噪声位置传感器、Cypher AFM出色的分辨率和速度、新的纳米力学测量技术以及blueDrive™光热激发轻敲技术等，同时也保持了Asylum Research产品一贯的可靠性和专业的客户支持。”　　Jupiter XR™具有可高速精准定位的210 mm样品台，可对整个样品任意位置进行精准定位;简单直观的软件操作界面，并且具备全自动的激光和探测器对准，自动智能优化成像参数，自动多点成像和分析;以及Asylum Research独特的blueDrive™光热激发轻敲模式，可以大大提高探针尖端寿命和测量可重复性。　　与其他Asylum Research原子力显微镜系列产品一样，Jupiter XR™具备了广泛的应用和多样的配件体系等特点，并采用模块化设计便于将来扩展，可用于科学研究、平台实验中心、大批量工业应用和故障分析实验室等领域。无论身处怎样的研究领域，Jupiter XR™均可凭借其易用性、高速扫描、高性能和灵活性游刃有余。

牛津仪器等离子部（OIPT）— 等离子刻蚀与沉积光电解决方案供应商，宣布位于台湾新竹的工业技术研究院(ITRI)已选择采用OIPT多套包含刻蚀与沉积的PlasmaPro 100系统用于他们的MicroLEDs研发项目。ITRI作为世界知名的技术研发机构之一，推动了台湾的产业向创新方向转型。该机构自成立以来共孵化了270多家创新型企业，其中包括联华电子(UMC)、台积电(TSMC)等知名企业。电子与光电子系统研究实验室副主任方博士评论说：“ITRI与牛津仪器的密切合作关系是建立在其拥有高端技术的基础上，但这并不仅仅是我们选择他们作为新系统供应商的关键原因。他们的应用解决方案，优秀的本地流程支持以及与我们的工业合作伙伴将实验室开发培育成生产标准的能力，是我们决定采购的关键因素。”PlasmaPro 100 ICP工艺解决方案旨在支持前沿设备应用，如激光、射频、功率器件和LEDs先进制造。“LEDs下一个激动人心的发展阶段即将来临，在此刻我们很高兴能与ITRI合作，共同开发MicroLED项目，该技术已被应用于三星壁式电视，” 牛津仪器等离子部战略营销经理Robert Gunn评论道，“ITRI已和许多研究机构及其他新进入该领域的公司一样采用了牛津仪器等离子部的工艺解决方案来应对这个快速发展的市场。“

如何定义“Cryofree”Cryofree™是牛津仪器的商标术语，用于描述我们所有无需通过液态制冷剂实现低温的产品。一直以来，液态制冷剂在低温研究和液化气体等工业领域中扮演着重要角色。如今科研中最常用的制冷剂分别是液氮——沸点温度为77K（-196 ℃）以及液氦——沸点温度为4.2K（-269 ℃）。价格昂贵，潜在的危险性以及供不应求都是液态制冷剂在使用中面临的问题。因此，通过电力驱动制冷的闭循环制冷机（这与家用冰箱很相似）基本上可以取代这种传统的制冷方式，并开拓了很多以之前手段无法实现的新应用。研究人员在进行低温观测时面临哪些挑战？通常，硅二极管、热电偶和Ruo2半导体器件等一些用于测量温度的二次校准传感器，既可用作指示器，也可作为控制和反馈回路的一部分。在极低温下精密测量中使用的温度传感器，是通过被测物质的固有特性（例如测量放射性衰变或电噪声）来进行标定的。从低温恒温器中获得的制冷量、内部冷却过程、来自恒温器外部的环境热辐射、以及测量本身的热辐射，这些都是影响控制测量温度达到动态热平衡的因素。实验要考虑到本身电、热、磁和光产热对温度的影响，故而需要将温度测量和加热器整体作为控制反馈回路来实现温度控制。牛津仪器有一系列温度传感器和控制器，来适应不同的温度和磁场环境。纳米器件对静电释放（ESD）带来的损害十分敏感。随着器件尺寸的越来越小，挑战随之增大。因此，无论是在室温下、连接到芯片载体时、放入低温恒温器时、热交换时或者连接外部测量设备时，样品处理对于低温测量的顺利进行都是至关重要的。我们提供的SampleProtect™信号偏压和接地开关系统可以用来保护敏感器件。该系统可在室温（处理和储存样品时）和低温（测量前、测量中和测量后）下工作。我们同时还提供多种样本加载和卸载选项，以适应客户的不同应用。器件一旦进入低温恒温器，将会与外界环境相隔离。器件位置角度与测量、外加磁场或入射光有着密切联系，因而器件定位也是实验的关键。我们能为客户提供一系列定位机制，并在测量间隙重新定位样品。随着研究方向从具有晶体定向特性的块材转移到具有高度各向异性的薄膜和纳米线，样品的定位也变得越来越重要。定位可以通过机械旋转完成，也可通过集成压电位移器驱动来完成。压电位移器可用于样品上的光聚焦，或在外加磁场下转动样品。最后，如果测量方案很复杂（如扫描探针显微镜），或者器件的信号线必须固定不动（如使用GHz频率半刚性同轴电缆），我们可以将2个或更多的超导磁线圈耦合在一起，施加多个方向的磁场来实现二维甚至三维空间下磁场的偏转。这种矢量磁体在量子比特和自旋物理学研究中有着越来越多的应用。测量就是将探测信号发送给样品，并收集响应信号的过程。测量手段有很多种，通常我们提供的是：通过导光管或窗口作为自由空间中的光学通道； 通过光纤进行光接入；通过分裂线圈实现中子、μ子和X射线的束线通道；金属窗片；通过康铜或铜双绞线作为低频电学通道；采用不锈钢软同轴电缆传输MHz射频信号；采用不锈钢、铜镍或铌钛材质的半刚性同轴电缆传输GHz微波信号。这些通道需要平衡恒温器内外的“连通”与随之引入的热负载，同时也要考虑噪声的减少和干扰的屏蔽。确保良好的接地和滤波是必要的，对于大多数应用来说这意味着要对被测信号进行低温放大，以便在噪声严重衰减的背景下增强微弱的测量信号。对于研究人员来说，在噪声中寻找信号是一项长期任务，而消除噪声源本身也是一项重要实验。比如说可将中子吸收材料镀在光束周围，来有效减少通过低温恒温器的杂散反射。对于需要在低温下进行灵敏测量的用户来说，另一大问题是振动以及外部和内部机械噪声源对测量结果的影响。对于某些应用，特别是在无制冷剂情况下，这是一个重要的考量因素。然而，对于构造设计良好、选材考究并做到良好隔离的系统来说，这并不是问题。我们的工程师面临的挑战是如何明确定义“低振动”，以及确定研究人员重视的频率范围。通常来说，低频解决方案与高频解决方案有很大的不同。牛津仪器纳米科学部门提供的4K系列如何实现低温？我们的4K恒温器是通过液氦或闭式循环冷却器（无液氦系统）来实现低温。我们的光谱学以及显微恒温器可采用液氦连续流的方式运行，氦液体或气体通过低损耗输液管从储存罐流向低温恒温器，并在与样品端进行热交换后排出。另一方面，我们的无液氦低温恒温器通过外部回路将压缩氦气循环至冷头，通过一系列阀门和膨胀室产生低温。冷头和样品端之间的导热，可采用如无氧高纯度铜等导热性良好的材料来实现。底部加载与顶部加载的低温恒温器机制有何区别？正如前文提到的，在低温恒温器中换样是样本处理和测量效率的一个重要方面。我们为用户提供了多种样品装载方式：使用样品测量杆进行装载——通常装入交换气体中（称为顶部加载），或利用样品架或器件载台来直接装载在真空冷端中（称为底部加载）。客户的实验或实验室布局往往决定了使用哪种样品装载方式更加适合。研究人员如何知道牛津仪器提供的无液氦解决方案更适合他们的具体应用？由于产品的应用范围广泛，这可能会很棘手。近期我们一直致力于技术培训，并且拓展应用导向型文献，以便让我们能够快速确定适合客户需求的产品。我们最近还推出了全新的网站，在产品页面旁边添加了应用程序页面。此外，我们正在创建一个包含许多应用节点的网络，基于客户应用面临的测量问题给出解决方案。我们希望提供给研究者有关不同技术连接性的信息以及它们之间的差异。这个项目我们命名为“Pathways”，目前还处于早期阶段，每个月都会推出一个新的节点，把潜在客户需要注意的不同因素联系起来。牛津仪器纳米科学部能为需要在磁场环境中进行的低温实验提供什么解决方案？结合我们在低温与超导磁体的专业知识，我们可以将4K低温恒温器去适配超导磁体。我们同时提供液氦和无液氦的低温磁体系统，并将它们与Integra“湿”式和Teslaton“干”式这两个平台结合起来，同时搭配一系列超导磁体和样品测量杆以及深低温插杆，来满足室温到mK温度下的测量需求。你认为低温技术将如何推进量子技术？现如今这是一个热门话题。世界各地正在有大量的政府和民间投资进入量子技术领域。时钟、成像、传感、密码学、计算和模拟都是量子研究和技术发展的重要主题，我认为其中量子计算和模拟是目前最有低温需求的领域。超导磁通量子比特、自旋量子比特还有拓扑量子比特有很多结构，但它们的共通点都是需要在低温下才能发挥作用。当然，目前也有两种可以在室温下运行的方法（需要真空环境或者其他特殊条件）——金刚石氮和光学离子阱。从长远来看，我预计信号调制和控制系统将从室温转移到低温，以改善控制电路的延迟和噪声。这可能也将进一步扩展到其他暂时不需要低温的量子比特类型的控制上。展望未来，量子传感是一个越来越受关注的领域，在工业和医学领域具有巨大的潜力。随着技术发展，未来的系统可能需要结合低温技术。总的来说，这是一个令人兴奋的领域，我们很乐于去关注我们客户所取得的惊人进展。更多信息我们的网站有很多产品和应用的详细信息以用来收集更多信息和规格数据表，Pathways应用节点有更多的详细信息、客户案例、应用程序文件和视频。https://nanoscience.oxinst.com/https://nanoscience.oxinst.com/campaigns/pathways关于Michael CuthbertMichael Cuthbert博士在格拉斯哥大学化学物理本科学习和伦敦帝国理工学院高温超导博士学位之后，在布里斯托尔大学利用高达60T的脉冲磁场和极低温进行了mK温度下的超导研究。1998年加入牛津仪器后，Michael Cuthbert博士之前负责日本和整个亚洲从事技术和商务工作，之后负责北美地区的销售和市场工作。自2008年以来，Cuthbert博士一直在牛津仪器担任多项技术和商务领导职务。Cuthbert博士目前是牛津仪器纳米科学公司的业务发展和战略营销总监，并领导牛津仪器公司的量子技术市场部门。Cuthbert博士作为物理研究所以及多个咨询小组的成员，一直以来积极倡导技术与科学在社会中重要性，并且向牛津郡当地学校推广STEM课程（科学，技术，工程，数学教育总称）。

    据麦姆斯咨询报道，自2017年Apple（苹果）公司的旗舰手机整合以来，VCSEL（垂直腔面发射激光器）已成为智能手机3D传感应用的核心元件。不仅苹果的竞争对手——安卓阵营智能手机厂商在大力发展基于VCSEL的创新应用，来自汽车领域的新增长动力，也有望进一步推动VCSEL的大规模量产，VCSEL的增长序幕才刚刚拉开。根据Yole近日发布的《VCSEL技术、产业和市场趋势》报告，2017年VCSEL市场营收达到了约3.3亿美元，预计未来5年的复合年增长率将高达48％以上。    VCSEL应用从数据通信时代向3D传感时代的转变，可能会对与VCSEL相关的专业制造产生重大影响。在此背景下，Yole固态照明技术与市场分析师Pierrick Boulay于近期采访了Oxford Instruments（牛津仪器公司）技术写作负责人Stephanie Baclet，与其探讨了当前与VCSEL制造相关的挑战。Pierrick Boulay（以下简称PB）：您好，请您先做一下自我介绍，您的工作内容，以及牛津仪器的主要业务？Stephanie Baclet（以下简称Stephanie）：我是Stephanie Baclet，目前负责牛津仪器公司的技术写作。我与光电子器件制造商紧密合作，将它们对器件的要求，转化为等离子处理产品的纳米制造要求。我曾作为高级应用工程师专注于新产品的推出以及各种技术的处理开发，如LED、激光二极管和衍射光学元件等。牛津仪器等离子技术，是纳米级特征、纳米层和纳米结构可控生长应用的蚀刻和沉积等离子工艺解决方案的供应商。这些解决方案是基于等离子体、离子束和原子层沉积和蚀刻核心技术。我们的产品范围覆盖了从用于高通量生产加工的批量盒式处理平台，到用于研发的紧凑型独立系统。牛津仪器PlasmaPro100 Polaris MMXPB：与VCSEL制造工艺相关的主要挑战有哪些？牛津仪器如何攻克？Stephanie：器件的性能和特性，始终是其设计和制造中多种元素影响的综合结果。因此，建立正确的工艺流程并在控制容差内执行每个工艺步骤，对于可靠的制造非常重要。对于VCSEL，我会说光孔径是其设计的一个关键因素，因为它直接定义了激光器的关键参数，例如阈值电压。目前，光孔径的大小一部分由mesa diameter（台面直径）以及Al（铝）含量和氧暴露决定，因此需要很好地控制每一个因素以获得期望的孔径。总的来说，这3个因素正是VCSEL制造的主要挑战所在，亦即VCSEL技术要求堆叠层内Al含量良好控制的外延结构，台面结构的可靠制造，以及具有严密流动控制的氧化炉。3D传感等应用推动了市场对VCSEL的大规模需求，因此行业关注VCSEL良率的提高，以及将VCSEL制造技术推向150mm平台。牛津仪器提供处理VCSEL台面以及其他几种激光元件的解决方案。我们已经与VCSEL制造商合作多年，牛津仪器在设计III-V族材料等离子处理解决方案方面的专业积累，使我们能够在100mm和150mm晶圆平台实现高良率的制造解决方案。此外，纳米加工领域正在不断发展。诸如原子层沉积和原子层蚀刻等技术实现了新的器件架构，并使器件性能尽可能的提高。我们一直在不断改进我们的解决方案组合，提高客户的器件性能。制造过程中具有挑战的工艺步骤PB：蚀刻工艺似乎是VCSEL制造过程中的关键步骤之一，你能解释一下其原因吗？Stephanie：台面蚀刻工艺在几个方面对VCSEL的性能至关重要。首先是侧壁的质量，台面侧壁是氧化工艺开始的地方。需要有一个平滑而干净的表面，以使孔径均匀地形成。由于还需要控制台面的剖面角，而这会根据加工策略产生一定的粗糙度，因此，这是一个挑战。另外，对于标准GaAs/AlGaAs（砷化镓/砷化铝镓）DBR（分布布拉格反射镜）结构，AlGaAs中存在的Al也会在每对层之间引入选择性蚀刻。蚀刻步骤的另一个关键是如何定义截止层。如果不能在外延叠层内的目标截止层停止蚀刻，则在形成出光孔时会导致不需要的层的氧化。控制蚀刻工艺停止的位置，不仅取决于终点控制技术的准确性，还取决于整个晶圆上蚀刻速率的均匀性。显然，所有这些因素在大晶圆尺寸下将变得更加难以控制。PB：可以使用哪类工具来控制不同的制造工艺？您能介绍一下吗？Stephanie：对于等离子工艺解决方案步骤，有控制工艺本身的工具，例如自动终点控制技术，然后还有控制设备的工具。随着化合物制造的日趋成熟，硅行业使用多年的许多方法将开始出现在VCSEL制造领域，例如 SECS/GEM（半导体通信协议）和工厂自动化。这些将推动良率的提高，并降低VCSEL主流应用所需要的拥有成本。牛津仪器等离子技术已经在多个客户的产线实施了SECS/GEM，并为VCSEL制造的下一阶段做好了充分准备。RIE反应离子蚀刻系统PB：为什么从晶圆到晶圆保持相同的生产一致性如此困难？Stephanie：VCSEL的一大优势是能够制造阵列以扩大功率。然而，为了用单个电输入驱动VCSEL阵列，理想情况下阵列中的每个VCSEL需要具有相同的光电特性。例如，您需要阵列中的所有VCSEL具有相同的阈值电压，这样它们可以同时开启。当在脉冲条件下运行时，这将变得更加重要。因此，总体而言，对生产一致性的要求非常严格。目前，良率很大程度上取决于外延片的良率。外延结构的复杂性和厚度对外延片制造商来说是一个挑战。DBR结构需要非常厚才能获得所需要的反射率，因此，50多层的堆叠层以及整个晶圆区域的Al含量都需要精确控制。PB：数据通信和消费类、汽车领域3D传感应用的VCSEL有哪些主要区别？Stephanie：数据通信是VCSEL初始的应用。如今，光学互连和光学HDMI（高清多媒体接口）电缆等应用仍然具有吸引力。对于这些应用，激光器波长通常为850nm多模发射，在大芯片上以mW（毫瓦）范围的低功率运行。由于这类激光器是在高频下调制的，因此通常专为低电寄生而设计。在手势识别等3D传感应用中，激光波长通常在940nm量级，并且通常是为更高功率运行而设计的阵列。根据应用的不同，LiDAR（激光雷达）应用的VCSEL功率约为10~50W，手势识别的功率约为0.5W。阵列密度和孔径大小可根据功率要求进行调整。PB：您对未来五年的VCSEL应用有何期待？Stephanie：随着良率的提高和成本的降低，我们应该会看到越来越多的应用选择VCSEL作为光源。红外光源是物联网、智能家居或手势识别等非常激动人心的应用核心。这些应用将逐渐成为我们日常生活中的常规应用，也是VCSEL的应用领域。不过，这并不是说VCSEL将成为红外光源仅此的解决方案，而是VCSEL将成为那些要求紧凑尺寸、高光束稳定性和低功耗应用的优选技术。*本文转载自MEMS—麦姆斯咨询（MEMS Consulting）相关文章：牛津仪器与中国首家VCSELs人脸识别的开发及制造商开展业务合作选择性原子层沉积技术更节能，更清晰！Micro LED即将应用于Apple Watch

    牛津仪器NanoScience很高兴地宣布，已经与包括来自德国、法国、西班牙、芬兰和葡萄牙知名小组在内的欧洲主要研究机构建立合作伙伴关系。该团队由来自德国巴伐利亚科学与人文学院的Walther-Mei?ner-Institute（WMI）领导并负责开发新量子应用的欧洲项目，欧盟量子旗舰计划也因此获得300万欧元资助用于“通信和传感用量子微波（QMiCS）”的提案。     QMiCS的目标是通过使用由超导材料制成的微米和纳米结构电路，在冷却到接近绝对零度的温度时产生具有称为“纠缠”的量子力学性质的微波辐射，从而为改进通信和传感方法提供技术基础。在未来三年内，WMI将利用纠缠微波来演示用于分布式量子计算的量子局域网络电缆原型并验证量子增强雷达的概念。牛津仪器公司的任务是在两台超低温制冷机之间建立低温联系以便在非常低的温度下进行微波通信，两台制冷机中一台由牛津仪器NanoScience提供，另一台由WMI提供。     QMiCS的长远目标是通过微波量子局域网（QLAN）开发分布式量子计算和通信，并实现基于量子微波（量子雷达）物体照射的感测应用。将微波频率用于关键量子计算平台（超导电路，NV中心，量子点）将会实现零变频损耗。它们可以通过超导电缆以低损耗分布，最终应用于量子通信和密码学。QMiCS项目负责人Frank Deppe博士说：“QMiCS使得科学、工业、政治和公众的利益相关者有机会发现量子微波技术的巨大潜力。我们预计在未来几年里，量子微波在现实生活中的应用将会有巨大飞跃。”      WMI在低温和超低温物理与应用方面的基础和应用研究建立的成就，使它成为将其专业知识扩展到量子技术应用的适宜场所。WMI的董事Rudolf Gross教授说：“我们正面临着第二次量子发展，量子技术正在迅速推向市场，并在量子信息技术和传感领域引发了广泛的应用前景。我们很高兴与牛津仪器NanoScience携手合作，使量子微波通信不仅成为现实，并且在商业上也可以取得成功。“     牛津仪器NanoScience与客户以及合作伙伴密切合作，致力于为量子和纳米技术应用开发下一代先进超导和低温解决方案，牛津仪器NanoScience业务发展和战略营销总监Michael Cuthbert博士说：“这是一个伟大的项目，也是一个令人兴奋的机会，这种解决方案具有将mK温度下运行的量子处理器联网以形成更大的量子器件集群的潜力。可以想象，未来的量子计算机可能会依赖这些接口，以最小的错误和延迟在芯片内外传递量子信息。     20世纪20年代量子物理学原理的发现改变了科学，并开启了新一代的创新和商业科技，为我们提供了从硅芯片到光纤通信的许多新发现和应用。如今，它们承载着实现下一代计算机、通信、基于量子技术的传感器和探测器等诸多功能的希望。量子技术有潜力通过开发新的先进材料，并使新的先进仪器和数字应用成为可能，从而彻底改变我们日常生活。通过量子技术进行的微波通信将在通信、传感和先进计算领域实现飞跃，并会影响我们的社会和生活。     欧洲委员会（欧盟）已将量子技术确定为战略领域来投资，并于2018年10月29日启动了名为“量子旗舰”(Quantum Flagship)的新计划。这项计划已被定位为欧盟最雄心勃勃的项目之一，拥有10亿欧元的预算。它将支持大规模的长期研究和创新项目，其主要目标是通过商业应用让量子物理研究走向市场。10年来的第二次量子发展正在全球范围内展开，该计划旨在将欧洲置于这场发展的前沿，通过提出新的商业机会来应对全球挑战并且在未来孕育出意想不到的应用，从而将颠覆性的量子技术带入科学领域和整个社会。它将建立一个由欧洲量子技术项目组成的组织网络，在欧洲建立一个能够提供知识、技术及开放的研究设施和试验平台的生态系统，而这些也都是在欧洲发展世界前沿的知识型产业所需的。相关文章：22T超导磁体系统在马德里自治大学成功安装

        第十三届“中英空间科学与技术合作研讨会”于今日在宁波盛大召开，本次会议是在中、英两国国家航天局、英国贸易投资部、以及英国大使馆指导下，由中英空间科学于技术联合实验室、英国卢瑟福-阿普尔顿实验室以及科技部空间科学于技术国际合作联合研究中心（宁波分中心）主办。            牛津仪器也出席了本次盛会并在现场设有展台，我们的技术专家将为与会者介绍先进的解决方案，并举办现场材料分析研讨会。本次现场有原子力显微镜和电子显微镜Demo演示并有ANDOR天文相机展示欢迎各位莅临现场了解更多应用！牛津仪器展台  时间：2018年12月10-13日   地点：宁波泛太平洋大酒店，3楼，Pacific 5号厅                       宁波市民安东路99号（近会展中心）演讲预告：时间地点演讲者主题12/12 9:009:15Pacific 4号厅Jonathan BryonIntroduction to Oxford Instruments12/1210:0010:15Pacific 4号厅Nick ZHOUAndor Camera in AstronomyBepiColomboInternational Space StationMessenge*转载文章前请与牛津仪器联系，未获许可谢绝转载，谢谢。

　　牛津仪器公司是工业和研究领域的高科技产品，系统和工具的领先供应商，于当地时间2018年11月26日宣布任命Neil Carson为非执行主席。他将于2018年12月1日起加入董事会。　　Neil Carson是一位经验丰富的主席兼非执行董事。他目前是TT Electronics plc的主席和TI Fluid Systems plc的副主席。他曾在Paypoint plc和Amec Foster Wheeler plc担任非执行董事，并担任庄信万丰的首席执行官10年，任职至2014年9月。在完成工程学位后，他于1980年加入庄信万丰，并担任过包括英国和美国地区的多项高级管理职位。　　牛津仪器公司临时主席Stephen Blair谈到：“在Alan Thomson于7月逝世之后，我们采取了全面的程序，选出了Neil Carson担任主席。Neil在执行和非执行职位上都有实现业绩增长的良好记录。他的经验将帮助我们进一步发展Horizon战略并实现我们的目标。”　　Neil Carson评论道：“我很高兴在这一激动人心的时刻加入牛津仪器，因为Horizon战略正开始取得积极的成果。我期待与Ian，Steve和董事会其他成员合作，帮助集团充分发挥潜力，继续提供高科技产品和服务，以满足不断扩大的客户群。”　　牛津仪器公司首席执行官Ian Barkshire讲到：“我欢迎Neil加入董事会，并期待与他密切合作。我很激动此次我们找到了一个技能和经验与公司的要求如此匹配的人。 我和董事会的其他成员也要感谢Steve作为临时主席所做的一切。” 

　　仪器信息网讯 2018年11月21日，“2018 中科大·牛津仪器纳米技术论坛”在合肥中国科学技术大学顺利召开。论坛由牛津仪器公司与中国学学技术大学(以下简称“中科大”)携手举办，旨在更好地发挥各自优势，集纳米技术学术专家和应用科学家于一堂，共同分享探讨纳米技术前沿与最新进展。中国科学技术大学副校长杜江峰院士致欢迎词　　值得一提的是，本次论坛内容组成多元，除了邀请纳米技术领域知名学术及应用专家分享了纳米技术在无机仿生材料、半导体器件、凝聚态物理等领域的进展，及相关的电子显微学技术、扫描隧道显微术、EBSD、等离子体刻蚀等最新设备应用技术之外。还邀请英国驻上海总领事馆科技创新领事Gareth Taylor先生对中英在科学创新方面的合作及产业战略等进行了分享。学术/应用专家、驻华领事畅谈多元合作下之科技创新　　茶歇间隙，英国驻上海总领事馆科技创新领事Gareth Taylor先生谈参加论坛的感受时表示，科技创新离不开多方的合作，在这次论坛上，自己看到了许多合作，通过专家报告中对仪器设备的需求看到了科研用户与牛津仪器的合作，通过专家们纳米前沿技术的分享则看到了中国高校与英国高校在科研方面的一些潜在合作等。中英在科技创新方面的合作始于中国改革开放初期，40余年的合作取得了很多成果，比如中国已成为英国第一大高校交流合作国家，中英建立2亿英镑的联合研究创新基金促进双方研究创新资源的共享等。在长期合作中，英国基础研究更加擅长、中国则在制造业方面更有优势，合作在整个产业链中，双方优势互补，实现共赢。英国驻上海总领事馆科技创新领事Gareth Taylor先生谈中英在科学创新方面的合作　　科学仪器行业在中英科技创新合作中有哪些体现?Gareth Taylor表示，相关的合作可以有很多形式，比如石墨烯是由英国曼彻斯特大学两位物理学家首次从石墨中分离出来的，结合英国石墨烯研究及中国在石墨烯产业化方面的各自优势，在标准合作中，中英双方成立了中英石墨烯标准化合作工作组，并共同向ISO提出石墨烯国际标准提案。而作为行业源头的标准制定，对于科学仪器行业同样十分重要，中英双方也可以开展许多相关优势互补的合作。左至右第一行：Gareth Taylor(英国驻上海领事馆)，俞书宏教授(中科大)，王建波教授(武汉大学)第二行：王兵教授(中科大)，程光磊教授(中科大)，眭孟乔博士(牛津仪器)第三行 ：孙海定教授(中科大)，黄承扬博士(牛津仪器)，王鹏飞教授(中科大)　　关于与客户的合作，牛津仪器中国区总经理张鹏表示，作为纳米材料生产与先进检测设备供应商，牛津仪器专注于高科技领域。进入中国，牛津仪器与中国科学院系统、大学以及工业界的合作始于上世纪70年代，涉及的领域包括材料科学、半导体、低温物理、天文、地质、生物医药等诸多领域。本次论坛携手合作的中科大，也是牛津仪器在中国最大的合作伙伴之一。从20余年前牛津仪器第一台产品进入中科大，到2014年在中科大成立联合实验室，到2015年开始在中科大设立奖学金，再到目前18位中科大优秀学生获得设立奖学金。这些合作在为牛津仪器带来了商业利益的同时，也为中科大的科技发展、人才培养带来了国际先进的设备、技术与经验，实现双赢合作。颁发“明日之星”证书　　目前，纳米技术相关先进科学仪器设备主要依赖进口品牌，在此前提下，武汉大学王建波教授认为，仪器商与用户的深入研发合作，应向发展更加迅速和成熟的IT行业借鉴学习。比如微软公司在中国设立有研究院，可以更好的促进与用户之间的深入合作，并推动相关技术的快速转化发展。而在科学仪器行业，地方保护明显，类似IT领域的深入合作较少，尤其在非本土市场。如果这些进口品牌能在国内建立研发中心，相信更深入的研发合作也会水到渠成。纳米技术前沿成果离不开创新仪器技术　　作为纳米科技领域一线科研专家，王建波认为，先进的仪器设备手段有助于高水平成果的诞生，以电子显微学为例，国际顶尖纳米科学家、中国科学院外籍院士王中林曾讲过，透射电镜在纳米科技中的应用是皮米的技术在纳米中的应用，透射电镜给了碳纳米管出生证，也带来纳米时代的热潮。同样再以发展更快速、成熟的IT领域为例，越是科技前沿的领域，对先进仪器设备的重视程度越高。随着半导体器件集成度提高，发展进入纳米尺度，在纳米、原子尺度的分析至关重要，先进的IT企业，会比高校院所更早引进高端透射电镜等高端微观表征技术设备。包括英特尔公司目前为止，配置有全世界最先进的透射电镜，中国的中芯国际、长江存储等也配置了远远优于高校院所的高端微观表征仪器设备。　　另外，真正原创性的前沿研究也应该是用自己研发的仪器来实现的，因为商业化产品从时间来讲是相对滞后的，当然这个滞后可以通过仪器公司的不断创新来减小。所以希望中国有更多人投身到不仅做科研，同时还要把相关的科研设备做起来，若可以进一步结合市场产业化就实现了真正的“产学研一体化”。牛津仪器公司的发展就是这样一个成功的案例。　　为了更好地让系统解决方案贴近客户的需求，牛津仪器一直在进行持续的创新。据牛津仪器纳米分析部亚洲区销售和服务副总裁Jonathan Bryon介绍，为与客户不断发展的需求共成长，牛津仪器每年有超过8%营收投入到研发中，同时，在市场布局、新产品、售后服务等方面一直在不断发展创新。　　在市场布局方面，近来主要有两个显著变化，一是对科研市场的投入逐渐向学生等青年学者倾斜，希望给学生们提供高质量的培训，让牛津仪器能够参与到他们整个的科研生涯中，从学生时代，直至其走上工作岗位。这样，无论是科研还是工业企业，牛津仪器可以始终为其提供高质量的科研帮助。另一方面，EBSD作为牛津仪器强势技术，一直以来，该技术在学术、高校领域受到关注更多。接下来，牛津仪器将把技术逐渐从学术向工业领域推进，逐渐为工业领域的需求提供支持，相信这也会为牛津仪器开拓另一个很大市场。　　产品创新方面，在过去一年半时间里，牛津仪器纳米分析部全部更新了从能谱到EBSD的整个产品线。以能谱为例，新推出的Ultim Extreme，性能速度比原来提升数倍，甚至一个数量级，可在相同条件下更好更快的应对更有挑战性的样品。而Ultim Max系列能谱，采用独特实时成像功能，可以帮客户用能谱信息来检索样品。而以往大家都只根据电镜图像来找到目标区域，现在则可以实时根据实时刷新的能谱面分布进行快速检索，改变了观察样品的模式。同时，随着能谱性能的提高，SEM上能谱性能也在向TEM上能谱性能靠拢，尤其在空间分辨率方面，将SEM分析的极限又推进了一步。以往一些只能在TEM能谱上实现的表征，现在在SEM能谱上也能实现了。　　售后服务方面，牛津仪器去年引进了Semtinel技术，可以对所有牛津仪器的仪器设备进行远程诊断，这样客户可以预先知道设备状态及可能出现的问题，并提前作出维修保养的安排。另外还推出了Live-assist在线协助功能，利用虚拟影像VR技术，全球专家可以通过这个软件与客户进行远程的沟通，帮客户远程解决应用及售后问题。该技术应用了影像叠加技术，如英国专家可以将其手的操作影像与客户的动作影像叠加起来，如此来提供一个非常形象的“手把手”支持帮助。中国科研市场将是牛津仪器的重中之重　　当前，对于中美贸易战对于纳米科技领域的影响，王建波教授认为，目前的影响可能还是潜在的，但后期可能会有更多的升级。比如科学仪器领域，先进的科学仪器设备组成部件可能来自多个国家，除了直接影响，相关的贸易禁运也会不可避免涉及到相关盟友国对中国产品的提供，尤其在尖端领域，进而对我国科学研究造成一定影响。　　而牛津仪器的宗旨是将科学产业化，并最终促进科学本身的发展。Jonathan Bryon表示，“科研市场对牛津仪器非常重要，而中国拥有全球最多从事材料研究的群体，中国科研市场对于牛津仪器的重要性是毋庸置疑的。牛津仪器进入中国已经22年，最近15年来，我们非常看重与客户交流、客户培训，在同行业总，我们是最早在每个省开展轮流培训活动，即“大篷车”计划;同时纳米分析部在业内首个招聘博士学历的应用支持专家，为客户做更好的支持，所有这些投入都是为了更好了解客户需求，让客户更好理解我们设备，让设备性能更好发挥出来。”合影留念会后参观微纳研究与制造中心　　附：牛津仪器致力中国科技领域的人才培养项目摘要　　2013年，牛津仪器开设“马丁·伍德爵士中国物理科学奖”。 该奖项颁发给40岁以下的中国物理研究领域顶尖的年轻科学家，到目前为止已经举办四届，共计10位科学家获奖。　　2014年，在中国科技大学成立联合实验室。　　2015，牛津仪器设立“明日之星”奖学金计划，以奖励在纳米科学技术及相关领域做出创新成果的在读博士或硕士研究生。获奖者除了可以获得奖学金之外，还可免费参加牛津仪器公司举办的研讨会，并作为口头报告的候选人;优先获得牛津仪器公司国内及全球的工作和实习机会;对其开放牛津仪器公司在中国的相关应用实验室。“明日之星”设立至今，中科大已有18名学生获奖。　　2016年，在南京大学设立奖学金。　　2017年与中国科学院大学合办显微分析学校，特别针对硕士生开展暑期培训。　　2017年与天津大学建立合作实验室。　　2018年与南京大学签署共建实验室等。

　　仪器信息网讯 10月中旬，牛津仪器公司公布了其截至2018年9月30日的半年业绩。公告显示，2018-2019财年上半年实现营收1.47亿英镑，同比上一财年同期的1.32亿英镑，同比增加11.3%。　　财报摘要　　订单增长10.3%至1.629亿英镑(2017年：1.477亿英镑)，按固定汇率计算增长12.0%;　　订单总额增长16.3%至1.779亿英镑(2018年3月31日：1.53亿英镑)，按固定汇率计算为12.5%;　　报告期营收增长11.3%至1.47亿英镑(按固定汇率计算为12.6%);　　调整后的持续经营业务利润增长11.7%至2100万英镑(按固定汇率计算为16.0%)，利润率上升至14.3%;　　调整后的持续经营税前利润增长21.5%至1980万英镑。　　运营亮点摘要　　继续实施Horizon战略并取得进展;　　良好的基础订单和收入增长　　继续关注创新和研发;　　进一步投资销售、服务和运营能力，增强对战略采购、运营效率和物流的关注;　　终端市场和潜在驱动因素依然乐观，商业和工业客户增长强劲;　　在最近推出的产品，客户应用重点和积极的终端市场的推动下，材料和特性的财务表现强劲　　在医疗保健、生命科学以及量子科技终端市场增长驱动下，研究开发领域上半年表现良好　　随着医疗保健业务服务合同的增长及产品相关的服务需求的增加，服务和医疗保健业务呈现订单增长。　　牛津仪器公司首席执行官Ian Barkshire表示：“我们继续在实施Horizon战略方面取得良好进展，同时保持对近期交付改进绩效的关注。该策略现已深入整个集团，我们已经开始看到良好订单表现和增长的收入等积极成果反馈。”　　“我们致力于在具有长期增长动力的市场中提供领先的产品性能和商业解决方案，同时对运营效率投资的增加，将继续推动企业发展。”

       随着近年来纳米技术的发展，低温超导环境的构建，纳米材料的制备，显微成像分析等各种新设备和应用技术也在不断更新，从而进一步助推纳米技术的进步，如量子计算、量子传输、低维材料的制备和表征等。　　为了更好地发挥各自优势，中科大和牛津仪器将于今年11月21日在中科大联合举办纳米技术论坛，邀请国内外的学术专家和应用科学家共聚一堂。　　中科大 · 牛津仪器纳米技术论坛　　时间：2018年11月21 9:00 -17:00　　地点：安徽合肥中国科学技术大学西校区特种实验楼二楼学术报告厅　　主要议题：TopicSpeaker09:00-09:30Welcome & “Rising Star” Scholarship Presentation欢迎词及明日之星奖学金颁奖Head of USTC   and OI 中科大校领导及牛津仪器中国区总经理 张鹏和牛津仪器纳米分析部亚洲区副总裁 Jonathan Bryon09:30-9:50The UK Science and Innovation Ecosystem and UK-China PartnershipsGareth TAYLORConsul, Science & Innovation 科学创新领事British Consulate General Shanghai 英国驻上海总领事馆9:50-10:10无机材料的仿生合成、组装与应用Prof. Shuhong YU 俞书宏教授University of Science and Technology of China 中科大10:10-10:40Group Photo and Break 集体照及茶歇10:40-11:10Microstructural Evolution Down To Atomic Scale Using Advanced   Electron MicroscopyProf. Jianbo WANG 王建波教授Wuhan University 武汉大学11:10-11:40扫描隧道显微术在物理化学高分辨表征中的应用Prof. Bing WANG 王兵教授University of Science and Technology of China 中科大11:40-13:00Lunch 午餐13:00-13:30关联氧化物纳米电子学Prof. Guanglei CHENG 程光磊教授University of Science and Technology   of China 中科大13:30-14:00How Oxford Instruments involved in real scientific research Dr. Mengqiao SUI 眭孟乔博士Oxford Instruments 牛津仪器14:00-14:30Tea Break 茶歇14:30-15:00Accurate and standard device modeling for nanoscale, 3rd generation   and 2D-material devicesProf. Fujiang LIN 林福江教授University of Science and Technology of China 中科大15:00-15:30Ion Beam Deposition and Etching for Novel Applications Dr. Young HUANG, Technology Manager 黄承杨博士Oxford Instruments 牛津仪器15:30-16:00Scanning Nitrogen-vacancy center microscopy for nanoscale magnetic   imagingProf. Pengfei WANG 王鹏飞教授University of Science and Technology   of China 中科大16:00-17:00Closing & Lab Visiting  闭幕及实验室参观　　在这里你能遇到众多纳米技术研究者和牛津仪器应用专家，彼此分享经验、相互学习?　　席位有限，请尽早预定。我们会人工审核所有参会名单，并于11月中旬统一发送确认函，请确保您填写资料的准确性。获得确认后，您可免费参加本次活动，并获得进一步详细信息。　　以下在线填表注册或点击注册链接注册：【注册链接】

由于晶体管器件尺寸的不断减小，作为MOSFET中栅极氧化物，氧化硅已经渐渐不能满足要求，2000年代中期氧化铪作为取代物渐渐出现在研究人员视线中 [i]，该材料是一种高k介电材料，也是少数与硅能保持热力学稳定的二元氧化物之一。因此，它可以自然地集成在逻辑元件和存储器设备中。例如，英特尔早在2007年就已经宣布在其处理器中加入铪基高k金属栅极[ii]。这种新型晶体管配方承诺能降低功耗，减少漏电，并在降低尺度的同时能保证良好的性能。2011年，氧化铪的铁电性[iii]被公之于众。由于所有的块体氧化铪都具有中心对称的晶体结构，因此其并不具有铁电性。氧化铪在室温下是单斜晶，在2050K以上是四方晶。然而，当在机械封装下形成薄膜期间掺杂氧化硅时，氧化铪则形成了可能具有铁电性的非中心对称的正交晶相 [iv]。该铁电相是通过机械限制抑制四方到单斜的转变而形成。结合硅/铁电结的结构，氧化铪的铁电性可能给我们器件制备带来一些新的思路。例如，铁电晶体管（FeFETS），有望成为超快，低功耗的非易失性存储器，并最终可能与当前的闪存技术并驾齐驱[v，vi，vii]。作为铁电材料，氧化铪薄膜的存在的一个表征难题是它的弱压电响应。 我们知道压电力显微镜（PFM）通常需利用接触共振频率下增强的共振信号进行测量[viii]，然而，如果接触共振的频率不稳定，则可能引入使压电响应变得模糊的形貌串扰。Asylum Research专有的双频共振追踪或DART™模式可以更精确地跟踪接触共振移位，从而最大限度地减少形貌对测量的影响。以下是Si：HfO2薄膜的DART™-PFM的一些实例图像，清楚地显示了不同极化方向的压电畴。在唤醒循环之前，样品是在结晶后处于其初始状态的厚度为10nm的薄膜。这些数据是在为客户安装调试新Cypher S系统期间获得的。10nm Si：HfO2薄膜的DART振幅（左）和相位（右）图（扫描尺寸为3μm），该数据覆盖在的样品的形貌表面上。10nm Si：HfO2薄膜的的DART振幅（左）和相位（右）图像（扫描尺寸为1.5μm）。 横线截面图像显示具有相反极化方向的压电畴。References:[i] Zhu, H., C. Tang, L. R. C. Fonseca, and R. Ramprasad. "Recent progress in ab initio simulations of hafnia-based gate stacks." Journal of Materials Science 47, no. 21 (2012): 7399-7416.[ii] Intel News Release: “Intel's Fundamental Advance in Transistor Design Extends Moore's Law, Computing Performance: Sixteen Eco-Friendly, Faster and 'Cooler' Chips Incorporate 45nm Hafnium-Based High-k Metal Gate Transistors”(https://www.intel.com/pressroom/archive/releases/2007/20071111comp.htm)[iii] B?scke, T. S., J. Müller, D. Br?uhaus, U. Schr?der, and U. B?ttger. "Ferroelectricity in hafnium oxide thin films." Applied Physics Letters 99, no. 10 (2011): 102903.[iv] Polakowski, Patrick, and Johannes Müller. "Ferroelectricity in undoped hafnium oxide." Applied Physics Letters 106, no. 23 (2015): 232905.[v] NamLab (Nanoelectronic Materials Laboratory) Website: “Hafnium Oxide Based Ferroelectric Memory (http://www.namlab.de/research/reconfigurable-devices/hafnium-oxide-based-ferroelectric-memory)[vi] Dünkel, S., M. Trentzsch, R. Richter, P. Moll, C. Fuchs, O. Gehring, M. Majer et al. "A FeFET based super-low-power ultra-fast embedded NVM technology for 22nm FDSOI and beyond." In Electron Devices Meeting (IEDM), 2017 IEEE International, pp. 19-7. IEEE, 2017.[vii] Trentzsch, M., S. Flachowsky, R. Richter, J. Paul, B. Reimer, D. Utess, S. Jansen et al. "A 28nm HKMG super low power embedded NVM technology based on ferroelectric FETs." In Electron Devices Meeting (IEDM), 2016 IEEE International, pp. 11-5. IEEE, 2016.[viii] Rodriguez, Brian J., Clint Callahan, Sergei V. Kalinin, and Roger Proksch. "Dual-frequency resonance-tracking atomic force microscopy." Nanotechnology 18, no. 47 (2007): 475504.Sample courtesy of Thomas K?mpfe at the Fraunhofer Institut, Dresden, Germany.*转载文章前请与牛津仪器联系，未获许可谢绝转载，谢谢。

简介在半导体工业中，随着二维到三维集成电路的转变，芯片的互联形式已经转变为硅通孔3D互联，焊点尺寸有望减小至几个微米。Sn基钎料因其良好性能而被广泛使用。焊接过程中，Sn与母材发生反应易形成Cu6Sn5和Cu3Sn两种相。利用能谱(EDS)及背散射电子衍射技术(EBSD)可以对微焊点中的成分、晶体结构、晶粒取向、大小等进行快速表征，从而对微焊点性能的改善提供指导意义。结果利用Ultim Max170能谱探测器对某微焊点区域成分进行分析。由图1(a)可见，整个焊点的元素两侧为Cu及Ni中间区域分布Sn及少量Ag颗粒。进一步使用AutoPhaseMap功能，进行“相”的识别与表征，如图1(b)所示。可见中间区域较复杂，分布多种相结构。图1(c)为菊池带衬度(Band Contrast)分布图, 各层晶粒形貌清晰可见。图1(d)相与菊池带衬度叠加图，所分析区域共六种相，各相的晶体学参数如图中表格所示。其中，Cu及Ni相均为立方结构，且晶格常数相差无几(3.61?及3.57?)，单独使用EBSD无法正确的区分两相。AZtec软件的TruPhase功能，可利用能谱实时区分晶体结构近似而成分不同的相。仅14mins，即完成采集，充分体现Symmetry EBSD高分辨及高速两大特点。最终可确认中间区域结构如图(d)所示。同时利用定量线扫描分析(Quantline)研究Ni元素在中间区域的分布(图1(b)中黑线范围)，Ni在该区域约有1%左右，很可能为稳定的(Cu,Ni)6Sn5相。图1焊点区域 (a) EDS Layered Image; (b) EDS AutoPhaseMap; (c) EBSD Band Contrast Map; (d) EBSD Phase与Band Contrast叠加图; (e) 图(b)黑线位置定量线扫描对中间区域进行取向及晶粒大小分析，如图2(a)为Cu6Sn5菊池带衬度与IPF Y叠加图。晶粒中的颜色与反极图中颜色对应。图2(b)为Cu3Sn相菊池带衬度图，IPF Y图及大角晶界叠加图。晶粒为等轴晶，平均晶粒尺寸约350nm。从反极图可知，Cu3Sn部分晶粒的[001]趋于平行于Y方向。图2 IMCs区域 (a) η相IPF Y与BC叠加图;  (b) Cu3Sn IPF Y与BC叠加图及晶粒尺寸分布总结利用Ultim Max170能谱及Symmetry EBSD对微焊点的成分及结构进行了表征。Ultim Max能谱具有大晶体面积，采集计数率高等特点。Symmetry EBSD兼顾了高速与高分辨率两大特点，文中对六种物相同时标定且同时采集能谱，时间仅为14分钟。强大的AZtecEBSD软件，保证了物相分析及定量结果的可靠性，以及后处理获得准确的晶粒取向及大小等分析结果。*转载文章前请与牛津仪器联系，未获许可谢绝转载，谢谢。

　　仪器信息网讯 2018年11月5日，为期两天的“2018第三届牛津仪器全国EBSD技术论坛”在杭州顺利举办。150多位来自全国各地的EBSD专家及用户参加了本次会议。会议现场牛津仪器纳米分析部亚洲区销售和服务副总裁 Jonathan Bryon致辞浙江大学电子显微镜中心教授 李吉学致辞　　本次技术论坛邀请了来自浙江大学、清华大学、北京科技大学、中国地质大学、钢铁研究总院、中科院上海硅酸盐所分析测试中心等多位行业资深专家，与牛津仪器应用科学家一起，对于EBSD最新技术进展及相关应用方法进行了交流探讨。培训内容涵盖EBSD基本原理及制样原则、EBSD所涉及晶体学原理、EBSD数据采集操作技巧及拓展应用、EBSD数据后处理方法及使用技巧以及EBSD在专业领域内的高级研究应用等。部分专家报告　　会议间隙，仪器信息网编辑与牛津仪器专家用户清华大学教授Andy Godfrey、钢铁研究总院高级工程师孟利，以及牛津仪器高层纳米分析部亚洲区销售和服务副总裁Jonathan Bryon、中国区经理李霄飞，就EBSD技术进展和牛津仪器纳米分析部业务发展情况等进行了简单交流。从左到右依次为：清华大学教授Andy Godfrey、牛津仪器纳米分析部亚洲区销售和服务副总裁Jonathan Bryon、中国区经理李霄飞、钢铁研究总院高级工程师孟利、仪器信息网编辑陈星羽　　贴近用户，了解用户诉求，从仪器供应商向解决方案、教育培训提供者转变　　据悉，本次两年一度的技术论坛是牛津仪器第三次举办的以EBSD技术为主题的技术论坛，前两届分别在海南和洛阳举办。参加的用户数从首届的30多名增加到第二届的70多名，再到本次的150多名，效果十分显著。本次会议邀请到了多位有着丰富理论和实际经验的高水平应用专家作为授课导师，且授课形式新颖，设置了多个问答环节来激发用户的交流热情，使用户能够更放松，以更好的状态与导师进行交流。　　“期望通过这两天的培训能够让我们的客户充分了解EBSD技术的原理、应用，从而更好地解决他们日常工作和研究中遇到的问题，同时也可以为客户建立起同行业、跨行业之间的技术交流与沟通的网络。”Jonathan Bryon说到，“EBSD技术可以帮助用户更好地了解材料的性能，且涵盖的材料范围非常广泛，从传统的材料到半导体到地质样品等，是非常具有潜力的一项技术。”　　“牛津仪器正在从一个科学分析仪器的供应商向提供解决方案、教育培训的技术服务机构这样的角色转变。对于EBSD，我们会经常举办今天这样的技术论坛，从而让用户和科学家能够更好地了解这项技术的潜力，帮助他们解决日常工作和研究中遇到的问题。针对一些关键市场，例如半导体，我们也在密切地跟客户合作，通过一些新技术来改变他们的工作方式，使他们在生产或质量控制当中的工作效率变地更高。未来，我们还将举办一些跨国的技术交流活动，不光针对单一国家的客户或科学家。”　　Jonathan Bryon表示，“总的来说，我们的战略是更加贴近用户，更好地理解用户的诉求，为用户提供更高水平的技术服务、应用支持和解决方案。中国正在建立成一个以科学和技术立国的国家，也正在通过产品和设计为全球经济做贡献，以后会带来更多的发展机会。作为一家英国公司我们很高兴能够参与其中，期待以后跟中国的用户有更多的合作。”　　携手用户和科学家，实现EBSD技术从科学研究到工业质量控制的全面应用　　作为一位有着20多年材料科学研究经验的行业专家，Andy Godfrey教授亲自见证了EBSD技术的研发和发展历程，对此深有感触。他认为，牛津仪器在帮助EBSD技术成为一个科学研究工具的过程中起了很大的推动作用。牛津仪器让这个技术越来越容易使用，越来越被更多人接受。Andy Godfrey经常跟他的研究生讲一个故事：在他做博士论文的时候，测晶体取向只能通过手动计算，3年博士期间他总共只测了265个取向，而如今牛津仪器最新一代的EBSD探测器能够达到3000点/秒的采集速度。他开玩笑地说，要放在以前，估计他几秒钟就可以博士毕业了。　　“作为牛津仪器多年的用户，我看到了EBSD技术在牛津仪器的帮助下逐渐得到提升。牛津仪器这么多来一直在倾听客户的声音和科学家的反馈，他们将此加以吸收，进行科技的转化，最终变成真实的产品，这点令我非常欣慰。” Andy Godfrey教授如此说到。　　“目前EBSD技术主要还是应用于科研，随着EBSD速度的提升和自动化程度的提高，这个技术或将成为工业质量控制的一个重要技术手段。这需要牛津仪器与用户和科学家们长期合作，使系统软件能够越来越友好，越来越智能化和简单化，从而能够被更多的用户理解和掌握。此外，原位分析也可能是EBSD技术的一个发展方向，原位分析能够使材料研究人员实时地得到材料结构的变化，无论是拉伸还是加热。同时，正如人的能力主要由基因决定一样，材料的性能由其微结构决定，中国正在实施材料基因组计划，EBSD或将在其中起到非常关键的作用。”Andy Godfrey认为。　　EBSD技术在新型钢铁材料开发和工程钢质量提升中将发挥重要作用　　对于EBSD技术在钢铁行业中的应用进展，孟利以取向硅钢为例进行了说明。取向硅钢是一种应用于变压器(铁芯) 制造行业的重要硅铁合金，生产工艺复杂，制造技术严格，可以说是钢铁产品中的工艺品，钢铁工业的一颗明珠。取向硅钢所有的研究，包括样品的采集，生产工艺的开发等都需要通过EBSD来进行织构分析和相关数据解析。2017年，北科大吕昭平教授课题组在Nature上发表的关于超高强度钢的最新研究成果，其中1/3的研究手段采用了EBSD技术，作者用EBSD来解析微观晶体取向和统计性的晶体取向，与宏观的力学性能建立关联。此外，2017年另一篇发表于《Science》，北科大参与合作研发的一种超级钢（D&P钢）的研究成果，也是大量地运用了EBSD技术。这些无不说明了EBSD技术在钢铁行业中的应用和贡献所在。　　“十年前，中国的硅钢生产落后于发达国家五六十年，而现在经过十年的发展，中国的硅钢生产可以说与发达国家齐头并进，这需要通过很多先进的技术来解析材料演化的过程和微观规律等，其中EBSD在里面起了举足轻重的作用。EBSD既能分析材料的形貌，还能进行取向的测量，同时具有统计性，未来在新的钢材料开发，以及工程钢的质量提升当中将会发挥十分重要的作用。”孟利谈到。　　作为有着10余年牛津仪器EBSD系统使用经验的老用户，孟利见证了EBSD的采集速度从3-4点/秒发展到3000点/秒，看到了牛津仪器在硬件和软件上实现的突飞猛进的进步。“牛津公司的软件非常容易上手，模块的理解也很容易切入，很多应用方法都进行了打包处理，不需要用户深入了解内涵就能够得到想要的分析结果，作为老用户我能感觉到程序开发者的思维方式与我们用户之间的同步性。”采访现场　　中国是牛津仪器最大单一市场，未来将继续加大应用支持和售后服务投入　　中国作为单一市场是牛津仪器全球最大的一个市场，每年的销量都在激增。目前，牛津仪器在北上广分别建立了办事处，全国有着100多人的团队规模，包括售前、售后和应用支持团队。　　“从全球来看，我们在中国的应用支持团队是最强大的，每年大量增加的装机台数和客户群体，使我们从中吸收了非常多的宝贵经验。很多中国工程师有着10年以上的工作时间，能够持续性地跟客户进行沟通交流，了解客户的真实需求，从而更好地跟客户进行合作。之前，我们只有上海的应用实验室装有DEMO样机，今年8月也在北京的应用实验室装配了样机，包括最新的能谱、波谱和EBSD，可以为北方的客户提供更好的技术支持。在售后方面我们也将逐步实现全面的本地化维修。例如有一款台式电镜以往只能送到国外维修，我们刚刚派了工程师去英国培训，也引进了维修的机器，以后可以在上海本地进行维修。给客户提供更好的售后服务，是我们的重要任务。李霄飞说到。“此外，随着去年Symmetry EBSD新品的推出，接下来针对EBSD将会有非常多的市场活动，包括产品的推广以及对用户的培训。”会议合影留念

　　仪器信息网讯 2018年9月5日，日本最大规模的分析仪器展JASIS  2018在东京幕张国际展览中心盛大开幕，吸引来自全球各地的万余名观众参观出席。　　作为世界知名的科学仪器跨国集团公司，牛津仪器在展会期间带来其电子背散射衍射仪新品——Symmetry EBSD。Ultim Max能谱仪(近端)与Symmetry EBSD电子背散射衍射仪(远端)       牛津仪器于去年推出了结合了AZtecLive软件与Ultim Max能谱仪的实时元素成像系统和Symmetry EBSD电子背散射衍射仪。　　Ultim能谱仪包括Ultim Max(100及170)和Ultim Extreme。该产品主要特点是探测器面积更大，灵敏度更高。同时处理器的工作效率大大提升，输出计数率极高，且后台算法的升级，使得在极高输出计数率下，可获得精准定性/定量结果。　　Symmetry是一种多功能的新一代EBSD探测器，速度达到3000点/秒，是前一代EBSD探测器的2倍，其高灵敏度在低束流(100pA)、低电压(<5kV)条件下仍能快速分析，最高分辨率能实现1244*1024的EBSD花样。　　Symmetry的优势包括：百万像素荧光屏分辨率;低电压操作;无缝集成EDS;灵活性;自动校准;高速时的高分辨花样等。

“等离子技术在刻蚀工艺中的应用研讨会”是由牛津仪器主办的针对等离子技术在刻蚀工艺中的信息共享盛会。本次活动我们将邀请来自西电大学、西北工业大学以及牛津仪器的技术专家为大家呈现行业最前沿的信息与应用实例，同时针对一些应用中存在的问题进行阐述并给出一些合理化的建议。 等离子技术在刻蚀工艺中的应用 2018年11月7日 9:00 -17:00 西安天骊君廷大酒店 · 少华厅（西安市雁塔区太白南路198号）主要议题：（以下议题会有略微改动，以之后发送的新版为准）在这里你能遇到众多等离子技术研究者和牛津仪器应用专家，彼此分享经验、相互学习… 获得我们确认后，您可免费参加本次会议，因名额有限，请通过以下方式提前预定席位。发送邮件：china.info@oxinst.com或拨打牛津仪器热线电话400-678-0609

2018年全国电子显微学学术年会将于10月23-27日在成都市禧悦酒店召开。本届年会将设立材料科学与生命科学分会场，材料科学分会场包含：1.显微学理论、技术与仪器发展；2.原位电子显微学表征；3.能源、环境和信息等功能材料的微结构表征；4.结构材料及缺陷、界面、表面，相变与扩散；5.先进电镜技术在工业材料中的应用；6.扫描探针显微学分会场（STM/AFM等）；7.扫描电子显微学（EBSD）。8.生命科学分会场；9.生物电镜技术分会场。本次年会将是了解电子显微学及相关仪器技术的前沿发展，交流基础研究与应用研究新进展的高学术水平的大会。       牛津仪器将作为大会特邀的设备厂商与大家分享介绍产品的最新应用。第四分会场：结构材料及缺陷、界面、表面，相变与扩散时间：10月24日 15:50-16:10报告人：马岚 博士 应用工程师报告题目：能谱及EBSD在结构材料表征中的应用第三分会场：能源、环境和信息等功能材料等为结构表征 时间：10月25日 15:45-16:05 报告人：陈帅 博士 应用工程师报告题目：超级能谱Extreme在功能材料为结构表征中的应用现场演示演示时间：10月24日 10:00-11:00   13:30-14:3010月25日 13:30-14:30   15:30-16:30演示地点：成都市禧悦酒店一楼TESCAN设备展示区我们将现场演示Azteclive系统以及强大的UltimMax170的优异性能。另外，牛津仪器在展台区域也为大家准备了咖啡和茶歇，欢迎各位老师在全国电子显微学学术年会期间光临我们的展台。

文章作者：牛津仪器应用科学家 杨小鹏 博士长期以来，在地质样品的观察和研究中，区分相似物质非常重要。形成时的条件导致某些矿物相的晶体结构非常相似，只是化学成分有所不同。对于这类样品，传统的EBSD在采集的时候，所得到的EBSD衍射花样几乎毫无二致，根本无法准确区分相似相结构。牛津仪器EBSD的TruPhase标定模式则在这方面做了重大改进，能做到有效区分相似的晶体结构。TruPhase标定模式主要是利用EDS来辅助EBSD标定，需要同时采集样品的能谱谱图和衍射花样。利用EDS与相结构的参考谱图做对比，得到匹配系数；然后在标定EBSD花样时，利用匹配系数辅助求解器选择正确的相结构作为解，操作非常简单。我们来看一个实例。在这个矿物样品中，主要含有三个相结构：钛铁矿Ilmenite(FeTiO3)-三方晶系；磁铁矿Magnetite(Fe3O4)-立方晶系，晶胞参数8.39埃；铁尖晶石Hercinite(Fe2AlO4)-立方晶系，晶胞参数8.27埃。其中磁铁矿与铁尖晶石同为立方晶系结构，晶格常数也非常相近，结构非常相似，仅用EBSD无法很好区分。在图一中，展示了普通标定模式两次标定的结果，都没有正确的区分磁铁矿和铁尖晶石结构。在普通标定模式结果一中，磁铁矿和铁尖晶石相完全混标，随机分布；在普通标定模式结果二中，红色的磁铁矿未标出，全部标定成黄色的铁尖晶石；而只有TruPhase标定模式的结果才正确地区分开了磁铁矿和铁尖晶石结构，得到三种相结构的正确分布。图一  同一区域采用不同标定模式得到的相分布图。蓝色为钛铁矿，红色为磁铁矿，黄色为铁尖晶石。只有TruPhase标定模式的结果是正确的。TruPhase标定模式还具有很高的实时解析速度。配合最快的Symmetry探测器，在这个矿物样品上，我们做到了实测速度达到868点/秒，并且最终标定率达到99.0%。面分布图大小为1827x1370像素，步长为0.23um，面积达到420x315um2，整个扫描在50分钟内完成。对于矿物样品来讲，这样的实测采集速度比以前基于CCD的EBSD提升了至少10倍。图二  面分布图采集时的AZtec软件界面截图。实测速度达到868点/秒，标定率99.3%，同时衍射花样非常清晰。最终采集得到的结果如图三中所示，EDS和EBSD可以同时采集，这样就能得到更多关于样品的相关信息。EDS除了辅助EBSD区分相似结构，它也能和EBSD相互印证，检验结果。在该样品中，三个相结构存在一定的取向关系。从极图中可以看出，磁铁矿和铁尖晶石具有完全共格的取向，而钛铁矿与磁铁矿（或铁尖晶石）之间存在如下取向关系：钛铁矿{001}//磁铁矿{111}，钛铁矿{100}//磁铁矿{110}。这种特定的取向关系表明该矿物在结晶过程中由于元素的类质同像置换形成了固溶体，而在降温过程中在固溶体分解并析出了不同物相。总之，TruPhase标定模式可以非常简单有效地区分相似相结构，对于分析纷繁复杂的矿物结构意义重大。而最新的Symmetry探测器，对矿物样品的分析速度极大提升。同时利用Channel5后处理软件帮助分析还可以得到三种相之前的位向关系，为研究矿物的结构演变提供了重要信息。致谢：感谢中科院广州地化所谭伟老师提供样品。*转载文章前请与牛津仪器联系，未获许可谢绝转载，谢谢。

　　2018年全国电子显微学学术年会将于10月23-27日在成都市禧悦酒店召开。　　本届年会将设立材料科学与生命科学分会场，材料科学分会场包含：1.显微学理论、技术与仪器发展;2.原位电子显微学表征;3.能源、环境和信息等功能材料的微结构表征;4.结构材料及缺陷、界面、表面，相变与扩散;5.先进电镜技术在工业材料中的应用;6.扫描探针显微学分会场(STM/AFM等);7.扫描电子显微学(EBSD)。8.生命科学分会场;9.生物电镜技术分会场。　　本次年会将是了解电子显微学及相关仪器技术的前沿发展，交流基础研究与应用研究新进展的高学术水平的大会。　　牛津仪器将作为大会特邀的设备厂商与大家分享介绍产品的最新应用。　　第四分会场：　　结构材料及缺陷、界面、表面，相变与扩散　　时间：10月24日 15:50-16:10　　报告人：马岚 博士 应用工程师　　报告题目：能谱及EBSD在结构材料表征中的应用　　第三分会场：　　能源、环境和信息等功能材料等为结构表征　　时间：10月25日 15:45-16:05　　报告人：陈帅 博士 应用工程师　　报告题目：超级能谱Extreme在功能材料为结构表征中的应用　　现场演示　　演示时间：　　10月24日 10:00-11:00 13:30-14:30　　10月25日 13:30-14:30 15:30-16:30　　演示地点：成都市禧悦酒店一楼TESCAN设备展示区　　我们将现场演示Azteclive系统以及强大的UltimMax170的优异性能。　　另外，牛津仪器在展台区域也为大家准备了咖啡和茶歇，欢迎各位老师在全国电子显微学学术年会期间光临我们的展台。

     近60年来，牛津仪器始终致力于为世界领先的工业公司和科研机构提供在原子和分子层面对物质进行成像、分析和操纵的研究设备和解决方案。     最新发布的公司介绍视频描述了牛津仪器涉及的市场和应用，和牛津仪器如何通过持续创新和深入合作，帮助客户解决了众多挑战，包括绿色经济转型，普及数字化和材料、生命科学、生产制造和医疗保健领域的进步。     点击以下3分钟视频，重新认识OXFORD INSTRUMENTS：

9月15日，英国大使官邸敞开了大门，为数以千计的访客提供了一次在北京全方位深入了解英国的机会，牛津仪器作为一家全球知名的科学仪器设备公司参与了本次活动，并在科学展区与来访的宾客进行了交流。牛津仪器中国区总经理张鹏和纳米分析部亚洲区副总裁Jonathan Bryon与应用科学家们共同参加了本次盛会。牛津仪器起源于英国牛津，始终关注和支持着中国的发展，其产品于40年前就进入了中国市场，与中国的科研、教育和工业界的合作卓有成效。牛津仪器通过与领先的工业研究和学术团体的密切合作推动纳米技术的应用。创新是牛津仪器这50多年发展与成功的推动力，我们非常荣幸能通过支持本次活动让大家进一步了解英国先进技术以及创新，同时借此机会向大家展示了牛津仪器原子力显微镜的卓越性能。活动期间我们还通过一系列H5小游戏与到场访客进行互动。