NexION 300S ICP-MS测定半导体级硫酸中的杂质

2013-07-17 16:21

浏览：599次

资料摘要：

通常情况下，蚀刻液由硫酸和过氧化氢配制而成。由于是与其他化学物质一起使用的，任何金属杂质的引入都将会对IC器件的可靠性产生不利影响，因此需要使用的硫酸具有高纯度和高质量。由于具有快速测定各种工艺化学品中超痕量浓度待测元素的能力，电感耦合等离子体质谱仪已成为了质量控制不可缺少的分析工具。然而，在传统的等离子体条件下，往往存在氩离子与基质成分结合产生多原子干扰的情况。动态反应池使用四级杆质量过滤器建立动态带通，是消除目标元素干扰物的一种强有力的校正技术。使用非反应气体的碰撞池技术也被证明是一种减少特定多原子干扰的简单可行的方法。本应用报告证明了NexION 300 ICP-MS去除干扰，从而在使用高温等离子体的条件下通过一次分析就能够对H2SO4中全部痕量水平的杂质元素进行测定的能力。

下载本篇资料：

资料文件名：

资料大小

下载

010282_01NexION 300SICP-MS测定半导体级硫酸中的杂质.pdf

1146KB

免费下载

NexION 300S ICP-MS测定半导体级TMAH中的杂质

NexION 300S ICP-MS测定硅晶片中的杂质

相关资料

珀金埃尔默石化行业解决方案合集

1955 年，由珀金埃尔默自主开发的全球首台气相色谱仪(GC)154 型气相分离仪问世。自首台GC以来，珀金埃尔默色谱技术不断迭代更新，为全球客户先后提供了近50种不同型号的仪器设备。珀金埃尔默在气相色谱领域拥众多技术创新，Clarus GC，Clarus SQ8 GCMS, TurbomatrixTM顶空自动进样器，TurbomatrixTM自动热脱附仪等持续为石油化工、环境监测、医药卫生、生物化学领域在提供最先进的解决方案。

QSight400 LC/MS/MS样本资料

随着食品安全、药品安全和环境监测等领域的法规要求越来越严格，实验室将面临着诸多严峻的挑战，如更低的检出限要求、更高的检测通量和更苛刻的时效性要求等。 QSight®三重四极杆 LC/MS/MS系列产品一直以稳定和可靠的性能而著称，现推出更高灵敏度，更佳性能的QSight质谱新产品：QSight400系列质谱仪。与整体解决方案相结合，使实验室获得更高灵敏度和检测通量，从容应对更为严峻的检测挑战。 QSight 400系列质谱仪，配有高效率的双离子源，自清洁的质谱接口、专利的层流离子传输以及直观易用的操作软件。

仪器假期存放，保养及再开机注意事项

为了避免春节期间，未对仪器长时间闲置做好充分准备而导致开工后仪器故障，我们特地为大家准备了《仪器假期存放、保养及再开机的注意事项》手册，让您的假期无后顾之忧。免费下载获取该手册吧！

多光谱组织成像分析技术在皮肤疾病研究中的应用

主要介绍组织原位多标记分析技术、组织原位多标智能分析定量技术、组织原位多标记智能定量分析技术相关解决方案，以及多色标记方案的优势对比。

产品推荐