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中科光电
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URE-2000/30D 型（定制）紫外光刻机
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中国大陆
曝光模式： 接触式
产地类别： 国产
分辨率： 0.8-1m
光源： 350W 进口直流高压汞灯(进口)
光源波长： 365nm 或 405nm（可切换，更换滤光片）
光强均匀性： 97%（Φ100mm 范围）
曝光面积： 4 英寸
看了无掩模光刻机/直写光刻机的用户又看了
URE-2000/30D 型（定制）紫外光刻机
产品技术规格
2．外形尺寸：约 1400mm（长）900mm(宽) 1800mm（高）
3．配置 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设 备构成
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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