中图仪器SuperViewW系列白光干涉仪三维形貌仪是以白光干涉技术为原理的一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
SuperViewW系列白光干涉仪三维形貌仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
(1)SuperViewW系列白光干涉仪三维形貌仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
SuperViewW轮廓测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等。
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例:
1、高精度、高重复性
1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;
2)隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;
2、环境噪声检测功能
具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。
3、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
4、双重防撞保护措施
在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。
5、双通道气浮隔振系统
既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。
型号 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系统 | 1024×1024 | |
干涉物镜 | 标配:10× 选配:2.5×;5×;20×;50×;100× | |
光学ZOOM | 标配:0.5× 选配:0.375×;0.75×;1× | |
物镜塔台 | 标配:3孔手动 选配:5孔电动 | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移动范围 | 140×100㎜ | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 电动 | |
Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 电动 | |
Z向扫描范围 | 10 ㎜ | |
主机尺寸(长×宽×高) | 700×606×920㎜ |
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
中图白光干涉仪国产品牌
型号:SuperViewW1 面议中图仪器品牌三维形貌共聚焦材料测量显微镜VT6100
型号:VT6000系列 95万晶圆形貌量测设备
型号:WD4000系列 面议晶圆几何形貌量测系统
型号:WD系列 面议半导体晶圆形貌厚度测量是制造和研发的关键环节,涉及精确度和稳定性。面临纳米级别测量挑战,需要高精度设备和技术。反射、多层结构等干扰因素影响测量准确性。中图仪器推动测量技术发展,提高精度和速度,满足不同材料和结构需求。光学3D表面轮廓仪和台阶仪等设备助力测量,为半导体行业注入新活力。
微纳米表面轮廓形貌的测量可以帮助我们了解材料的物理特性、表面形态以及质量状况。如白光干涉仪是一种常见的微纳米表面轮廓仪测量仪器,常用于研究产品的微观形貌和粗糙度;而共聚焦显微镜大倾角超清纳米测量,在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。选择适合的测量仪器对于准确获取样品表面形貌和特征至关重要。
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