UV激光光束质量分析仪可实现高分辨率实时空间光束的监测、定量表征与强度分布。主要针对准分子激光器设计,用于所有脉冲或连续波激光器以及非相干光源,检测器CCD芯片上量子转换涂层保证了UV检测的高灵敏度。
主要特点
UV光束特性分析
‐ 准分子激光器 @193nm, 248nm, 351nm
‐ 固体激光器 @355nm, 266nm, 213nm
‐ UV LEDs, UV/VUV lamps
宽光谱灵敏度:VUV ‐ DUV ‐ Vis ‐ NIR
实时光学调节
基于ISO光束参数测量
衰减单元(可选)
Homogenized KrF
excimer laser (248nm)
Mask projection of
excimer laser beam
主要技术规格
波长范围~100nm …1100nm
(<~320nm:高线性和稳定性的量子转换涂层;<190nm: N2/ Ar purging required)
视场尺寸:20mmX14mm(其他尺寸可选)
相机:CMOS 4MPixel, 12 Bit, USB3.0
帧率:up to 15fps
曝光时间:20us to 1s
衰减单元:棱镜衰减器(因子1000:1)
中性密度滤片
Near‐field and far‐field
profile of ArF excimer laser
(193nm), indicating 2nd
moment beam widths
Beam profile of
misaligned 355nm laser
Beam Analysis software
光束测试软件
测试基于ISO标准
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直径 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性 | ISO 11670 |
M2 质量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 3人次技术培训。
免费仪器保养: 3个月1次
保内维修承诺: 免费更好失效硬件,提供免费的技术支持和服务。
报修承诺: 24小时到达客户现场。
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