波前曲率传感器
波前曲率传感器

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ProOpto

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EUV/NIR

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欧洲

  • 银牌
  • 第17年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

图片22.png


主要特点

        压电驱动微动平台,装配CCD相机

        光束方向快速移动

        临近位置光束剖面/形貌分析

        波前推导CCD像素级分辨

        光束传播参数分析(M2、瑞利长度、束腰直径)

        Zernike分析畸变控制

        采用自我参考法

        无光束相干要求

        紧凑式设计,在线检测


操作原理


图片23.png


技术规格

        CCD相机USB3.0通讯

        空间分辨率<10um

        多种传感器覆盖光谱范围:1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)

        实时波前分析

        测试依据ISO标准


光束测试软件

光束测试软件.png


测试基于ISO标准

Parameter

Standard

Beam diameter光束直径

ISO 11146

Divergence

ISO 11146

Beam profile光束剖面

ISO 13694

Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性

ISO 11670

M2 质量因子/ Focusability聚焦性

ISO 11146

Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布

ISO 15367

Coherence 相干

-

Around 20 various camera types are supported





售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 3人次技术培训。

免费仪器保养: 3个月1次

保内维修承诺: 免费更好失效硬件,提供免费的技术支持和服务。

报修承诺: 24小时到达客户现场。

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