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综合概述
SM200是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研 制而成的自动薄膜厚度测绘仪。它利用波长范围最宽 为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面,只要薄膜有 一定程度的透射,SM200就能根据反射回来的干涉光 谱拟合计算出薄膜的厚度,以及其他光学常数如反射 率、折射率和消光系数等,其厚度最大测绘范围可以 达到1nm~250um。
SM200自动光学薄膜厚度测绘仪由测绘主机、测 绘平台、Y型光纤及上位机软件搭建而成,核心器件 采用高分辨率、高灵敏度光谱仪结合奥谱天成独有的 算法技术,为用户提供的全新一代领先的自动光学薄 膜厚度测量仪。
产品特征
非接触式、非破坏性的测试系统;
超长寿命光源,更高的发光效率;
高分辨率、高灵敏度光谱仪,测量结果更准确可靠;
软件界面直观,操作方便省时;
历史数据存储,帮助用户更好掌握结果;
桌面式分布设计,适用场景丰富;
维护成本低,保养方便;
应用领域
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测绘,这几乎包含了所有的电介质和半导体材料,包括: 氧化硅、氮化层、类钻薄膜、多晶硅、光刻胶、高分子、聚亚酰胺、非晶硅等。
半导体镀膜:光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体上硅、晶片背面研磨;
液晶显示:间隙厚度、聚酰亚胺、ITO 透明导电膜;
光学镀膜:硬涂层、抗反射层;
微电子系统:光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板;
生物医学:医疗设备、Parylene
产品外观
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 1次人员培训
免费仪器保养: 共1次
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 24小时回应并确认保修时间
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