KAYAKU - 光刻干膜
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NIPPON FILCON

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NIPPON KAYAKU - KPM-500 DFR

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亚洲

  • 金牌
  • 第12年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数



KPM-500 DFR - 晶圓黏合材干膜  新!


材料說明:

KPM-500 DFR 是一種光敏永久負型干膜抗蝕劑。采用低鹵環氧樹脂和無銻配方。KPM-500 DFR 可制造化學和熱穩定結構,如用於傳感器封裝的腔壁,及用於微流體裝置的蓋子。


主要特點:

• 無銻低鹵素

• 開發了水性 TMAH

• 負型可圖案化干膜黏合劑,用於永久性晶圓黏合

• 對矽和玻璃具有出色的附著力

• 低技術溫度,180℃ 完全固化快速無空隙鍵合(150°C,10.2kN)

• 使用寬帶或 i-line 曝光工具進行圖案化




SU-8 3000CF - 永久負型光刻膠干膜


SU-8 3000CF 是一種光敏永久性負型干膜。SU-8 3000CF 干膜采用低鹵環氧樹脂,無銻設計,可應用於腔體封裝和微流體裝置蓋中,制造化學和熱穩定結構。


特色:

• 無銻

• 低鹵素 (總氯 <900 ppm)

• 低金屬腐蝕

• 優異的解析度和高縱橫比垂直輪廓 ( >3,20μm 膜厚度)

• 優異的熱穩定性

• 制程溫度低,吸水率低

• 通過可靠度測試 (HAST 85ºC/RH 85%,168 hrs)


應用:

• 用於 SAW 濾波器,BAW 濾波器和感測器的腔晶圓級體封裝

• 微流體的 3D 結構


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 1次免费培训

免费仪器保养: 可协商

保内维修承诺: 保内免费维修

报修承诺: 3个工作日

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