三维光学轮廓仪CONTEBGT-X

立体式三维光学剖面仪为实验室研究和生产过程控制提供了最高性能的非接触表面测量。结合十代白光干涉测量(WLI)的创新和设计，这一计量系统提供了最高的垂直分辨率超过该行业的最大视野。主要功能包括完全自动化和生产接口，大型电动XYZ级，头部倾斜/倾斜，以及一个完整的空气隔离台。设计从地面到最苛刻的研发，质量保证，和过程质量控制的需要，CONTEBGT-X提供了最终的量具能力的三维光学精度和稳健性。

生产准备设计与可靠性

CONTEBGT-X结合了Bruker的专利尖端/倾斜头，专利的自校准激光基准，集成模式识别，以及许多其他专有的干涉测量技术的创新，以提供非常精确的表面计量和高通量。该系统的自动化配置能够快速优化几乎任何生产环境，其特点包括用于增强X、Y、Z晶圆放置精度的空气台稳定器套件和用于集成PDU、EMO和真空系统，以及为自动加载端效器兼容性而修改的真空卡盘。

高精度高分辨率成像

CONTEBGT-X机动XY舞台提供12英寸编码运动在X和Y方向.该平台支持自动化例程，例如多点数据收集，以及用于大面积分析的拼接功能。0.5微米编码器提供可靠、可重复的自动化和样品定位。示例定位通过直观的操纵杆和软件界面控件为操作者提供了方便。

直观曲面测量与分析软件

Bruker的Vision64操作和分析软件提供了业界最实用和最精简的图形用户界面，将智能体系结构与直观的可视化工作流和用户定义的广泛自动化功能结合在一起，用于快速和全面的数据收集和分析。一个先进的生产接口，允许适应几乎任何生产环境和自动化过程的CONTEBGT-X。该接口提供了自定义流程工作流、自动映射和负载测量配方的工具。