产地类别： 进口
仪器种类： FIB-SEM
(电子光学系统）发射源： Cold cathode FE source
（电子光学系统）分辨率： 1.5nm@1kv，0.7nm@15kv
（电子光学系统）探针电流： 10nA
（电子光学系统）视野范围： -
（离子光学系统）发射源： Ga Liquid Metal lon Source
（离子光学系统）分辨率： 4nm@30kv
（离子光学系统）探针电流： 100nA
（离子光学系统）视野范围： 0.5μm*0.5μm~Φ2mm
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高性能与高灵活性兼备
“Ethos”采用日立高新的核心技术--全球领先的高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜，不但可以在低加速电压下实现高分辨观察，还可以在FIB加工时实现实时观察。
SEM镜筒内标配3个探测器，可同时观察到二次电子信号的形貌像以及背散射电子信号的成分衬度像；可非常方便的帮助FIB找寻到纳米尺度的目标物，对其观察以及加工分析。
另外，全新设计的超大样品仓设置了多个附件接口，可安装EDS*1和EBSD*2等各种分析仪器。而且NX5000标配超大防振样品台，可全面加工并观察最大直径为150mm的样品。
因此，它不仅可以用于半导体器件的检测，而且还可以用于从生物到钢铁磁性材料等各种样品的综合分析。
*1
Energy Dispersive x-ray Spectrometer（能谱仪（EDS））
*2
Electron Backscatter Diffraction（电子背散射衍射（EBSD））
HR模式下可实现高分辨观察（半内透镜）
FF模式下可实现高精度加工终点检测（Timesharing Mode）
可通过高电流密度FIB实现快速加工（最大束流100nA）
用户可根据自身需求设定加工步骤
运用ACE技术（加工位置调整）抑制Curtaining效应
控制离子束的入射角度，制备厚度均匀的薄膜样品
采用低加速（Ar/Xe）离子束，实现低损伤加工
去除镓污染
多接口样品仓（大小接口）
超大防振样品台（150 mm□）
*3
选配
能源/新能源 2021-11-23
能源/新能源 2021-11-23
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费操作培训
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 除耗材以外免费维修更换零件
报修承诺: 24h on call
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