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该PECVD系统可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等。
主要技术参数:
PC控制软件
RF发生器 0~3000W 脉冲模式
腔体防腐处理,400*400*1500mm,240L
腔体加热80℃
带观察窗
多路工艺气体通道,MFC控制 防腐处理
HMDSO单体通道
易燃易爆气体安全阀
Gas Shower气浴电极
设备外尺寸2000*600*1700mm
进口真空泵组
电压 3项400V
Diener PlasmaBeam 等离子表面处理装置
型号:Diener PlasmaBeam 11万Diener PLASMA 大气压等离子清洗机
型号:PLASMABEAM 12万Diener ZEPTO Plasma 等离子清洗机
型号:ZEPTO 10万DIENER PLASMA ATTO 等离子清洗机
型号:ATTO 15万diener 低压等离子系统Tetra 150中文产品资料,更多详细资料,有需要可联系上海尔迪仪器科技有限公司
diener等离子表面处理技术。更多等离子表面处理技术详细资料,可联系上海尔迪仪器科技有限公司进行联系。
     冰升温至0℃会变成水,如继续使温度升至100℃,那么水就会沸腾成为水蒸气。随着温度的上升,物质的存在状态一般会呈现出固态→液态→气态三种物态的转化过程,我们把这三种基本形态称为物质的三态。那么对于气态物质,温度升至几千度时,将会有什么新变化呢? 由于物质分子热运动加剧,相互间的碰撞就会使气体分子产生电离,这样物质就变成由自由运动并相互作用的正离子和电子组成的混合物(蜡烛的火焰就处于这种状态)。我们把物质的这种存在状态称为物质的第四态,即等离子体(plasma)。
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