几何
三角
齿顶圆角半径(m)
尺寸:2
最大:12
频率(赫兹)
尺寸:150
最小:100
最大:200
长度(um)
尺寸:70
最小:65
最大:75
弹簧常量(N/m)
尺寸:0.7
最小:035
最大:1.4
宽度(μm)
笔名:10
分钟:5
马克斯:15
悬臂规范
材料:氮化硅
几何:三角
悬臂梁数量:1
悬臂厚度(Nom):06um
悬臂厚度(RNG:055~0.65um
背面涂层:反光金
表层背面:45±5nm的TAu
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