产品介绍
几何
三角形
频率(赫兹)
尺寸:65
最小:50
最大:80
弹簧常量(N / m)
尺寸:0.35
最小:0.175
最大:0.7
齿顶圆角半径(um)
尺寸:2
最大:12
长度(um)
尺寸:120
最小:115
最大:125
宽度(um)
尺寸:25
最小:20
最大:30
悬臂规范
材料:氮化硅
几何:三角
悬臂梁数量4
悬臂厚度(Nom): 0.6pm
悬臂厚度(RNG): 0.55 ~ 0.65pm
背面涂层:反光金
表层背面:45±5 nm的Ti/Au
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