等离子清洗机（电镜专用）

功能：
主要用于除去透射电镜样品及样品杆上的污染，防止碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。特别适用于场发射扫描电镜和场发射透射电镜。

外型尺寸: W 345mm, H 220 mm, D420 mm
反应室尺寸: ? 80 mm, L270 mm
气体供应: 流量控制型  
射频发生器: 40kHz/100 W 
真空泵: Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: PCCE控制 
附件： TEM 专用舱门