通用参数
产品特点
结构精巧的双轴高精密运动平台
双电机可实现高产量
高刚性，良好的兼容性
导向精度高，精准定位
产品应用
二维激光加工
激光直写
光学测量
自动显微镜
技术参数
| IXY100 | IXY200 |
行程 | 100mm | 200mm |
精度 | -P: 1.0μm -C: 1.5μm | -P: 1.5μm -C: 2.0μm |
重复定位精度(3σ) | -P: 0.3μm -C: 0.6μm | -P: 0.5μm -C: 0.8μm |
运动分辨率 *1 | AA: 10nm DS: 200nm | AA: 10nm DS: 200nm |
最大速度 *2 | 200mm/s | 300mm/s |
最大加速度 *2 | 0.5g | 0.5g |
水平方向直线度 | 1.5μm | 3μm |
垂直方向直线度 | 2μm | 4μm |
偏航角 | 15μrad | 30μrad |
俯仰角 | 50μrad | 100μrad |
装载质量 *3 | 10kg | 20kg |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
*3 欢迎与瑞荧公司工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
订购信息
型号示例：
IXY100/IXY200 – PAA – CMS
型号说明:
系列 | 行程 | 光栅尺类型 | 编码器输出 | 电缆输出 |
IXY | 100: 100X100 | -P: Invar Based Scale | AA: Sin/Cos | -CMS: With CMS Box |
| 200: 200X200 | -C: Gold Tape Scale | DS: 100nm A/B/Z | -C01: 1m Cable |
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| DC: Customize | -C03: 3m Cable |
控制系统：
1、根据精密运动平台参数和应用要求，提供不同的控制系统方案。
2、精密运动台端口和电机参数兼容常见运动控制卡及驱动器。
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