PulseMasterR860/880系列高能准分子激光器
应用于工艺开发、科学研究和轻工业,具有高脉冲能量和优秀的光束质量的先进的准分子激光器
· 脉冲能量在248nm高达650mJ,在308nm可达600mJ
· EasyClean自动光学密封,以保持填充气体,减少维护时停机时间
· TMCTM(全金属陶瓷)设计延长气体寿命
· 优秀的光束质量和稳定性
· 可选的高亮度镜头,适用于要求低光束发散或延长相干长度
PulseMaster PM-860/880系列准分子激光器是专为高脉冲能量设计的。应用包括脉冲激光沉积(PLD),化学气相沉积 (CVD),如陶瓷、氮化物和图案的金属薄膜层等硬质材料的微加工。TMCTM(全金属陶瓷)设计确保气体寿命延长和低运行成本。强大的微处理器控制允许对激光运行参数的精确控制,即使在突发模式下输出功率依然稳定,并简化日常保养程序。易清洗自动阀门安装在光学端口,当因为清洗和维护而移动谐振腔时,允许激光腔被密封和保留填充钝化气体。
规格
设备电源:
型号 PM-868,PM-866,PM-888,PM-886:3相4线,208V30A或300V20A,50/60Hz
型号 PM-864,PM-862,PM-884,PM-882:单相,200-240V,50/60Hz,15A
冷却水:
5℃-20℃,40-6-psig
8X8,8X6 型:10 liters/minute
8X4,8X2 型: 5 liters/minute
激光气体:
Kr或Xe惰性气体,F2或HCL卤素气体,Ne和He保护气;或预混合气体,压缩空气或氮气