多孔氮化硅薄膜窗口特点
● 相对大的实验区域；
● 增加了薄膜的弹性；
● 孔的尺寸适合实验要求；
● 薄膜边缘有25μm宽度是无孔的；
多孔氮化硅薄膜窗参数：
框架大小：Φ3mm； 框架厚度：200μm；
薄膜厚度：50/100nm；
窗口大小：0.5x0.5mm；孔径：2.5μm；
孔间距：4.5μm；孔排列：100x100；
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