TEM用亲水性/疏水性氮化硅窗口
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技术参数：
亲水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的亲水涂层
疏水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的疏水涂层
表面能：
| 表面 | 表面能 (mJ/m2) | 标准偏差 |
| 氮化硅薄膜 | 46.1 | 4.3 |
| 亲水涂层 | 76.1 | 2.2 |
| 疏水图层 | 24.6 | 4.4 |
表面粗糙度：
| 表面 | 表面粗糙度 (nm) | 标准偏差 |
| 氮化硅薄膜 | Rq=0.65 Ra=0.45 | 0.06 0.02 |
| 亲水涂层 | Rq=0.57 Ra=0.40 | 0.04 0.03 |
| 疏水涂层 | Rq=0.66 Ra=0.40 | 0.03 0.05 |
| Rq=表面粗糙度; Ra= 平均粗糙度 | ||
氮化硅薄膜窗规格
| 窗口类型 | 薄膜厚度 | 窗口尺寸 | 框架尺寸 | 框架厚度 |
 | 50nm | 单窗口，500x500μm | Φ3mm | 200μm |
| 200 nm | 单窗口，500x500μm | Φ3mm | 200μm | |
 | 15 nm | 3x3，9窗口，窗口100x100μm | Φ3mm | 200μm |
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