ATLEX-1000-I高重频准分子激光器 --High frequency excimer laser高重复频率(可达1000Hz)全新技术的金属陶瓷腔超快电晕预电离技术采用固态开关,工作寿命长激光腔体<3L全部风冷,温度控制方便清洗的光学镜架内部集成4个电磁阀,方便气体处理系统集成RS485,RS232,USB和FOC接口能量稳定模式符合欧洲CE标准,RoHS认证