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2007年初购买的安捷伦6410A QQQ,年前放假前需要更换前级泵油就关机了,年后过来重新开机就出现大问题了。前级泵真空正常,但是就是无法启动分子涡轮泵,转速一直维持在2.5-3.5%之间http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/02/201102151014_277701_1604317_3.jpg初步判断分子涡轮泵故障的可能性比较高。6410A型的分子涡轮泵是EDWARDS的,安捷伦无法提供维修,只能更换。但是安捷伦维修部的说EDWARDS的这款泵已经停产了,没有新件,只能更换交换件(维修过的,但测试合格后再次出厂的),交换件价格约14万左右(新件也不过18万左右)。最后没办法,不得不接受交换件。交换件与新件保修期相同,只有三个月,现在只能赌交换件不会再出现问题了。提供几张更换分子涡轮泵时拍的几张内部照片http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/02/201102151027_277705_1604317_3.jpg新到货的EDWARDS分子涡轮泵 交换件http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/02/201102151030_277707_1604317_3.jpg出现故障的将要更换下来的分子涡轮泵http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/02/201102151031_277708_1604317_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/02/201102151032_277709_1604317_3.jpg拆卸下来的分子涡轮泵,就这东西坏了损失了14万。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/02/201102151034_277711_1604317_3.jpg6410A放置分子涡轮泵的空间http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/02/201102151036_277715_1604317_3.jpg分子涡轮泵散热片,散热不良涡轮泵会自动停止。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/02/201102151038_277719_1604317_3.jpg更换好分子涡轮泵后开机运转正常,转速很快就到100%。公司老总说要是不关机就不会坏了,就算要更换配件也得即关即开,停机时间不可太长,泵冷机了就不好运转起来。这个说法有道理吗?大家每次的关机时间一般最长是多久?如果需要更换配件又是如何做的呢?您的仪器的分子涡轮泵使用多久了呢?一般的分子涡轮泵寿命是多长呢?
安捷伦7500仪器, 上午仪器声音异常。 重新点火后好转 ,中午仪器稳定时出现直接转shut down 状态。提示涡轮泵time out , 真空度too high。 之后重启仪器,涡轮泵不工作,转速2%上不去。。 难道真的是涡轮泵挂掉了、、 还有没有其他原因呢? 查看哪些参数可以找找原因?
昨天做样是好好的,今天想做样时发现分子涡轮泵停止转动了。很奇怪?重启仪器分子涡轮泵工作,当真空到达一定值之后,Fore pressure值越来越大?难道是分子涡轮泵坏掉了?有没有遇到类似问题的?